| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题概述 | 第10-12页 |
| 1.2 光学系统成像模型及快速算法的研究现状及发展趋势 | 第12-18页 |
| 1.3 本文主要研究工作及创新 | 第18-20页 |
| 2 基于卷积变量分离法的光刻成像建模理论与快速算法 | 第20-49页 |
| 2.1 引言 | 第20-21页 |
| 2.2 变量分离理论基础 | 第21-29页 |
| 2.3 光刻部分相干系统的光学成像模型 | 第29-31页 |
| 2.4 基于变量分离法的光刻成像快速计算模型 | 第31-33页 |
| 2.5 基于卷积变量分离法的光刻成像快速计算方法 | 第33-40页 |
| 2.6 基于卷积变量分离法的光刻成像快速计算方法仿真验证 | 第40-47页 |
| 2.7 本章小结 | 第47-49页 |
| 3 厚掩模建模及矢量成像建模与快速算法 | 第49-70页 |
| 3.1 引言 | 第49-50页 |
| 3.2 多入射角下掩模透过函数快速计算方法 | 第50-52页 |
| 3.3 光刻矢量成像模型 | 第52-61页 |
| 3.4 基于掩模透过函数的光刻矢量成像快速计算方法 | 第61-62页 |
| 3.5 基于变量分离法的掩模近场分布及矢量成像快速计算仿真验证 | 第62-68页 |
| 3.6 本章小结 | 第68-70页 |
| 4 光刻胶多层薄膜介质三维成像建模与快速算法 | 第70-85页 |
| 4.1 引言 | 第70-71页 |
| 4.2 在多层薄膜介质中光的传播模型 | 第71-74页 |
| 4.3 光刻胶多层薄膜介质成像模型 | 第74-76页 |
| 4.4 基于变量分离法的光刻胶多层薄膜介质成像快速计算方法 | 第76-78页 |
| 4.5 光刻胶多层薄膜介质成像快速计算方法仿真验证 | 第78-84页 |
| 4.6 本章小结 | 第84-85页 |
| 5 总结与展望 | 第85-88页 |
| 5.1 全文总结 | 第85-86页 |
| 5.2 研究展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表学术论文目录 | 第97-98页 |
| 附录2 攻读学位期间申请的国家发明专利 | 第98页 |
