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高质量ZnO薄膜的MOCVD法可控生长及其发光器件研究

内容提要第4-9页
第1章 绪论第9-35页
    1.1 ZnO 材料简介第10-12页
        1.1.1 ZnO 材料的基本性质第10页
        1.1.2 ZnO 材料的晶体结构第10-11页
        1.1.3 ZnO 材料的应用第11-12页
    1.2 ZnO 材料的研究进展第12-18页
        1.2.1 ZnO 单晶薄膜研究第12-14页
        1.2.2 ZnO 纳米结构研究第14页
        1.2.3 ZnO 的 p 型掺杂研究第14-18页
    1.3 ZnO 基光电器件的研究进展第18-25页
        1.3.1 ZnO 基紫外 LEDs 的研究进展第18-21页
        1.3.2 ZnO 基紫外 LDs 的研究进展第21-25页
    1.4 本论文的选题依据与研究内容第25-27页
    参考文献第27-35页
第2章 光辅助 MOCVD 法可控生长高质量 ZnO 外延膜第35-87页
    2.1 引言第35页
    2.2 光辅助 MOCVD 系统第35-42页
        2.2.1 MOCVD 系统简介第35页
        2.2.2 本论文中用于制备 ZnO 薄膜的 MOCVD 系统第35-39页
        2.2.3 MOCVD 法制备 ZnO 材料的工艺简介第39-42页
    2.3 光辅助 MOCVD 法可控生长 ZnO 单晶薄膜第42-53页
        2.3.1 光辐照强度对 ZnO 形貌特性的影响第42-45页
        2.3.2 光辐照强度对 ZnO 结晶特性的影响第45-48页
        2.3.3 光辐照强度对 ZnO 光学特性的影响第48-52页
        2.3.4 光辐照强度对 ZnO 电学特性的影响第52-53页
    2.4 光辅助 MOCVD 法可控生长多维度 ZnO 外延层第53-63页
        2.4.1 实验过程简述第53-54页
        2.4.2 生长条件对 ZnO 外延层形貌特性的影响第54-58页
        2.4.3 生长条件改变对外延层维度调节的机制分析第58-61页
        2.4.4 GaN/c-Al2O3衬底上二维 ZnO 厚膜的结晶特性分析第61-63页
        2.4.5 不同维度 ZnO 外延层的光学特性研究第63页
    2.5 二维 ZnO 纳米墙网络结构的可控生长及其特性研究第63-73页
        2.5.1 ZnO 纳米墙网络结构的常用制备方法第64-65页
        2.5.2 ZnO 纳米墙网络结构的形貌与结晶特性第65-66页
        2.5.3 ZnO 纳米墙网络结构的生长机制分析第66-69页
        2.5.4 不同微孔尺寸 ZnO 纳米墙网络结构的可控制备第69-73页
    2.6 一维 ZnO 纳米线阵列结构的可控生长及其特性研究第73-81页
        2.6.1 实验过程简述第73-74页
        2.6.2 生长条件对 ZnO 纳米线阵列的特性影响第74-79页
        2.6.3 一维 ZnO 纳米线的生长机制分析第79-81页
    2.7 本章小结第81-83页
    参考文献第83-87页
第3章 n-ZnO/p-GaN 异质结器件的特性研究第87-113页
    3.1 引言第87-88页
    3.2 n-ZnO 纳米墙网络/p-GaN 异质结器件的制备及其特性研究第88-99页
        3.2.1 器件的制备流程第88-91页
        3.2.2 ZnO 纳米墙网络的材料特性研究第91-92页
        3.2.3 n-ZnO 纳米墙网络/p-GaN 异质结的能带结构第92-93页
        3.2.4 n-ZnO 纳米墙网络/p-GaN 异质结器件的电学特性研究第93-97页
        3.2.5 n-ZnO 纳米墙网络/p-GaN 异质结器件的温度敏感特性第97-99页
    3.3 n-ZnO 纳米线/ZnO 单晶膜/p-GaN 异质结器件的制备及其特性研究第99-106页
        3.3.1 器件的制备流程第99-100页
        3.3.2 ZnO 单晶薄膜、纳米线阵列的材料特性研究第100-101页
        3.3.3 n-ZnO 纳米线/ZnO 单晶膜/p-GaN 异质结器件的电学特性研究第101-105页
        3.3.4 n-ZnO 纳米线/ZnO 单晶膜/p-GaN 异质结器件的温度敏感特性第105-106页
    3.4 本章小结第106-109页
    参考文献第109-113页
第4章 As 掺杂制备 p-ZnO 薄膜及异质结发光器件第113-139页
    4.1 引言第113-114页
    4.2 As 掺杂 ZnO 薄膜的特性研究第114-123页
        4.2.1 As 掺杂 ZnO 的受主形成机制第114-115页
        4.2.2 GaAs 夹层方法制备 p-ZnO 薄膜第115页
        4.2.3 生长温度对 ZnO:As 薄膜性质的影响第115-120页
        4.2.4 ZnO:As 薄膜的光学特性第120-123页
    4.3 p-ZnO:As 基异质结发光器件的研究第123-133页
        4.3.1 p-ZnO:As/n-SiC 异质结发光器件的制备及其特性研究第123-127页
        4.3.2 p-ZnO:As/n-GaN/n-SiC 异质结发光器件的制备及其特性研究第127-133页
    4.4 本章小结第133-135页
    参考文献第135-139页
第5章 Si 基 ZnO 发光器件的特性研究第139-166页
    5.1 引言第139-140页
    5.2 n-ZnO/i-MgZnO/p-Si 异质结器件的制备及其特性研究第140-145页
        5.2.1 n-ZnO/i-MgZnO/p-Si 异质结器件的制备第140页
        5.2.2 ZnO、MgZnO 薄膜的特性研究第140-142页
        5.2.3 n-ZnO/i-MgZnO/p-Si 异质结器件的电学特性研究第142-145页
    5.3 n-MgZnO/i-ZnO/SiO_2/p-Si 不对称双异质结器件的制备及其特性研究第145-160页
        5.3.1 随机激光的简介及发展第145-150页
        5.3.2 器件的制备流程第150-152页
        5.3.3 ZnO、MgZnO 薄膜的特性研究第152-153页
        5.3.4 n-MgZnO/i-ZnO/SiO_2/p-Si 异质结器件的电学特性研究第153-156页
        5.3.5 n-MgZnO/i-ZnO/SiO_2/p-Si 异质结器件的激射行为分析第156-160页
    5.4 本章小结第160-162页
    参考文献第162-166页
第6章 基于 ZnO/MgO 核壳纳米结构的紫外激光器件制备及其特性研究第166-197页
    6.1 引言第166-167页
    6.2 ZnO 纳米线基 MIS 结型 LDs 的制备及其特性研究第167-178页
        6.2.1 ZnO 纳米线/MgO 核壳异质结构的制备第167-170页
        6.2.2 ZnO 纳米线/MgO 核壳异质结构的光学特性分析第170-172页
        6.2.3 ZnO 纳米线基 MIS 结型 LDs 的制备及其电学特性第172-174页
        6.2.4 ZnO 纳米线基 MIS 激光器件的激射行为分析第174-178页
    6.3 ZnO 纳米墙网络基 MIS 结型 LDs 的制备及其特性研究第178-186页
        6.3.1 ZnO 纳米墙网络/MgO 核壳异质结构的制备第178-179页
        6.3.2 ZnO 纳米墙网络基 MIS 结型 LDs 的制备及其电学特性第179-182页
        6.3.3 ZnO 纳米墙网络基 MIS 激光器件的激射行为分析第182-186页
    6.4 n-ZnO/MgO/p-NiO 纳米线三层核壳结构双向驱动发光器件第186-191页
        6.4.1 ZnO/MgO/NiO 三层核壳异质结构的制备第186-187页
        6.4.2 n-ZnO/MgO/p-NiO 异质结器件的制备及其电学特性第187-189页
        6.4.3 n-ZnO/MgO/p-NiO 异质结中载流子产生、传输和复合机制分析第189-191页
    6.5 本章小结第191-193页
    参考文献第193-197页
结论第197-201页
本论文的创新点第201-203页
攻读博士学位期间发表的学术论文第203-209页
致谢第209-211页
中文摘要第211-214页
Abstract第214-216页

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