| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 振动能量采集技术的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2 微型压电能量采集器的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 本文的研究意义与研究内容 | 第16-18页 |
| 2 多副梁微型压电能量采集器的相关理论与技术 | 第18-27页 |
| 2.1 压电效应与压电方程 | 第18-22页 |
| 2.2 微型压电能量采集器的振动原理 | 第22-23页 |
| 2.3 微型压电能量采集器的加工技术 | 第23-26页 |
| 2.3.1 光刻技术 | 第23-24页 |
| 2.3.2 溅射技术 | 第24页 |
| 2.3.3 湿法刻蚀技术 | 第24-26页 |
| 2.3.4 干法刻蚀技术 | 第26页 |
| 2.4 PZT薄膜制备方法 | 第26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 多副梁微型压电能量采集器研究 | 第27-45页 |
| 3.1 多副梁微型压电能量采集器建模与仿真 | 第27-31页 |
| 3.1.1 多副梁微型压电能量采集器结构设计 | 第27-29页 |
| 3.1.2 多副梁微型压电能量采集器的仿真分析 | 第29-31页 |
| 3.2 PZT薄膜的制备 | 第31-37页 |
| 3.2.1 PZT前驱液的制备 | 第31-34页 |
| 3.2.2 PZT压电薄膜的制备 | 第34-35页 |
| 3.2.3 PZT薄膜腐蚀液配制及腐蚀工艺 | 第35-37页 |
| 3.3 多副梁微型压电能量采集器的工艺研究 | 第37-43页 |
| 3.3.1 掩膜版的设计 | 第37-38页 |
| 3.3.2 Pt/Ti剥离工艺 | 第38-40页 |
| 3.3.3 多副梁微型压电能量采集器的制作工艺 | 第40-43页 |
| 3.3.4 固定安装和引线 | 第43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 4 多副梁微型压电能量采集器的性能测试 | 第45-58页 |
| 4.1 PZT薄膜性能测试 | 第45-52页 |
| 4.1.1 PZT薄膜X射线衍射分析 | 第45-46页 |
| 4.1.2 PZT薄膜表面形貌分析 | 第46-47页 |
| 4.1.3 Ⅰ/Ⅴ曲线 | 第47-48页 |
| 4.1.4 介电性能 | 第48-51页 |
| 4.1.5 铁电性能 | 第51-52页 |
| 4.2 多副梁微型压电能量采集器输出性能测试 | 第52-56页 |
| 4.2.1 多副梁微型压电能量采集器谐振频率分析 | 第52-55页 |
| 4.2.2 多副梁微型压电能量采集器输出电压测试及对比分析 | 第55-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |