| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 第2章 等离子体数值分析模型 | 第16-28页 |
| 2.1 等离子体 | 第16页 |
| 2.2 等离子体数值分析模型 | 第16-28页 |
| 2.2.1 电子传输模型 | 第17-23页 |
| 2.2.2 重粒子传输模型 | 第23-26页 |
| 2.2.3 外部磁场的耦合 | 第26-28页 |
| 第3章 考夫曼离子源放电室等离子体模拟 | 第28-49页 |
| 3.1 引论 | 第28-29页 |
| 3.2 COMSOL MULTIPHYSICS等离子体模拟简介 | 第29页 |
| 3.3 等离子体模拟及验证 | 第29-48页 |
| 3.3.1 坐标系的选择 | 第29-30页 |
| 3.3.2 外加磁场的模拟 | 第30-34页 |
| 3.3.3 放电室等离子体模拟及验证 | 第34-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 考夫曼离子源放电室的工作参数优化与结构改进 | 第49-78页 |
| 4.1 屏极相对电势的模拟研究 | 第49-51页 |
| 4.2 不同磁场分布形式的模拟与改进 | 第51-76页 |
| 4.2.1 几种磁场分布形式的对比研究 | 第51-67页 |
| 4.2.2 结构改进 | 第67-76页 |
| 4.3 本章小结 | 第76-78页 |
| 第5章 结论与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 结论 | 第78-79页 |
| 5.2 展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84页 |