| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题的研究目的与意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状与分析 | 第11-19页 |
| 1.2.1 储能介电材料研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.2 BZT 基铁电材料的研究现状与分析 | 第16-19页 |
| 1.3 课题研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 第2章 实验材料及研究方法 | 第20-29页 |
| 2.1 溶胶-凝胶法制备 BZT 薄膜 | 第20-25页 |
| 2.1.1 溶胶-凝胶法制备薄膜的基本原理 | 第20-21页 |
| 2.1.2 BZT 溶胶制备 | 第21-23页 |
| 2.1.3 BZT 基薄膜制备 | 第23-25页 |
| 2.2 薄膜的结构与形貌表征 | 第25页 |
| 2.2.1 薄膜的 XRD 分析 | 第25页 |
| 2.2.2 薄膜形貌分析 | 第25页 |
| 2.3 薄膜的电性能测试 | 第25-29页 |
| 2.3.1 薄膜的电极制备 | 第25-26页 |
| 2.3.2 薄膜的介电性能测试 | 第26-27页 |
| 2.3.3 薄膜的铁电性能测试 | 第27-28页 |
| 2.3.4 薄膜的漏电流测试 | 第28-29页 |
| 第3章 BZT 基薄膜的微观结构 | 第29-36页 |
| 3.1 BZT 基薄膜的相组成 | 第29-31页 |
| 3.1.1 单成分 BZT 薄膜的相组成 | 第29-30页 |
| 3.1.2 Mn 掺杂 BZT 薄膜的相组成 | 第30-31页 |
| 3.1.3 PZT/BZT/PZT 三明治结构薄膜的相组成 | 第31页 |
| 3.2 BZT 薄膜的形貌 | 第31-35页 |
| 3.2.1 单成分 BZT 薄膜的形貌 | 第31-33页 |
| 3.2.2 Mn 掺杂 BZT 薄膜的形貌 | 第33页 |
| 3.3.3 PZT/BZT/PZT 三明治结构薄膜的形貌 | 第33-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 BZT 基薄膜的介电及铁电性能 | 第36-53页 |
| 4.1 薄膜的介电性能 | 第36-45页 |
| 4.1.1 薄膜的介电常数与温度的关系 | 第36-38页 |
| 4.1.2 薄膜的介电常数与频率的关系 | 第38-42页 |
| 4.1.3 薄膜的ε-V 曲线 | 第42-45页 |
| 4.2 薄膜的铁电性能 | 第45-48页 |
| 4.3 薄膜的漏电流 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 BZT 基薄膜的储能性能 | 第53-71页 |
| 5.1 引言 | 第53-54页 |
| 5.2 电场对薄膜储能性能的影响 | 第54-61页 |
| 5.2.1 电场对单成分 BZT 薄膜储能性能的影响 | 第54-56页 |
| 5.2.2 电场对 Mn 掺杂 BZT 薄膜储能性能的影响 | 第56-59页 |
| 5.2.3 电场对 PZT/BZT/PZT 三明治结构薄膜储能性能的影响 | 第59-61页 |
| 5.3 温度对 BZT 基薄膜储能性能的影响 | 第61-69页 |
| 5.3.1 温度对单成分 BZT 薄膜的储能性能的影响 | 第62-65页 |
| 5.3.2 温度对 Mn 掺杂 BZT 薄膜储能性能的影响 | 第65-67页 |
| 5.3.3 温度对 PZT/BZT/PZT 三明治结构薄膜储能性能的影响 | 第67-69页 |
| 5.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
