| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 微细加工技术的研究和发展 | 第12-15页 |
| 1.1.1 半导体材料的微细加工 | 第12页 |
| 1.1.2 LIGA技术和UV-LIGA技术 | 第12-13页 |
| 1.1.3 微细切削技术 | 第13-14页 |
| 1.1.4 高能束流微细加工技术 | 第14-15页 |
| 1.2 微细电加工技术的研究和发展 | 第15-19页 |
| 1.2.1 微细电解加工技术 | 第15-17页 |
| 1.2.2 微细电火花技术 | 第17-18页 |
| 1.2.3 微细电化学放电技术 | 第18页 |
| 1.2.4 组合加工技术 | 第18-19页 |
| 1.3 电解线切割技术的研究和发展 | 第19-21页 |
| 1.4 课题研究意义以及主要研究内容 | 第21-24页 |
| 1.4.1 课题的研究意义 | 第21-22页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 多线电极微细电解加工机理 | 第24-32页 |
| 2.1 微细电解线切割加工原理 | 第24页 |
| 2.2 提高微细电解线切割加工效率方案 | 第24-27页 |
| 2.2.1 强化传质提高加工效率方案 | 第24-26页 |
| 2.2.2 多线电极提高加工效率方案 | 第26-27页 |
| 2.3 纳秒脉冲电流多线电极微细电解加工模型 | 第27-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 微细电解线切割加工机床 | 第32-43页 |
| 3.1 机床的总体布局设计 | 第32-34页 |
| 3.2 机床本体 | 第34-38页 |
| 3.2.1 床身、外罩设计 | 第34页 |
| 3.2.2 运动系统 | 第34-35页 |
| 3.2.3 阴阳极及其装夹 | 第35-37页 |
| 3.2.4 电解液系统 | 第37-38页 |
| 3.2.5 辅助装置 | 第38页 |
| 3.3 纳秒脉冲电源 | 第38-39页 |
| 3.4 控制系统 | 第39-40页 |
| 3.5 监测系统 | 第40-41页 |
| 3.6 隔振系统 | 第41-42页 |
| 3.7 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 多线电极微细电解加工工艺试验研究 | 第43-59页 |
| 4.1 影响加工的因素分析 | 第43-47页 |
| 4.1.1 影响切缝加工精度因素分析 | 第43-44页 |
| 4.1.2 影响切缝加工效率因素分析 | 第44-45页 |
| 4.1.3 线电极数量对加工的影响 | 第45-47页 |
| 4.2 多线电极加工精度试验研究 | 第47-53页 |
| 4.2.1 电源电压对缝宽的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.2 脉冲宽度对缝宽的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.3 脉冲周期对缝宽的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.4 进给速度对缝宽的影响 | 第51-53页 |
| 4.3 线电极数量对加工效率的影响 | 第53-57页 |
| 4.3.1 不同线电极数量下电源电压对加工效率的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.2 不同线电极数量下脉冲宽度对加工效率的影响 | 第54-56页 |
| 4.3.3 不同线电极数量下脉冲周期对加工效率的影响 | 第56-57页 |
| 4.4 典型结构加工 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 间歇回退微细电解线切割加工 | 第59-66页 |
| 5.1 间歇回退强化传质策略 | 第59-61页 |
| 5.2 间歇回退对加工的影响 | 第61-64页 |
| 5.2.1 单次进给量对加工的影响 | 第61-63页 |
| 5.2.2 回退幅值/频率对加工的影响 | 第63-64页 |
| 5.3 间歇回退微幅往复运丝微细电解线切割工艺初探 | 第64-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 本文研究工作总结 | 第66页 |
| 6.2 未来研究工作展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第74页 |
