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晶体硅多线锯水基切削液的研究

学位论文的主要创新点第3-4页
摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 国内外能源形势与对策第10-14页
        1.1.1 全球能源状况第10-11页
        1.1.2 中国能源现状第11页
        1.1.3 可再生能源的开发和利用第11-12页
        1.1.4 太阳能光伏的历史及前景第12-14页
    1.2 硅片的切割工艺第14-18页
        1.2.1 硅片的制造工序第14-15页
        1.2.2 硅片的切割方式第15-18页
    1.3 晶体硅切削液组成的发展第18-20页
    1.4 金刚石线锯水基切削液的作用第20-21页
    1.5 影响切削液性能的因素分析第21-23页
        1.5.1 粘度对切削液性能的影响第21-22页
        1.5.2 pH值对切削液性能的影响第22页
        1.5.3 表面张力对切削液性能的影响第22-23页
    1.6 课题研究的目的和意义第23-24页
第二章 金刚石线锯水基切削液主要成分分析第24-32页
    2.1 实验仪器第24页
    2.2 实验试剂第24-25页
    2.3 初步分析第25-28页
        2.3.1 物理性状第25页
        2.3.2 含固量测定第25页
        2.3.3 溶解性测定第25页
        2.3.4 pH值测定第25页
        2.3.5 浊点测定第25-26页
        2.3.6 离子类型鉴定第26页
        2.3.7 元素鉴定第26-28页
    2.4 蒸馏第28页
    2.5 薄层色谱第28-30页
        2.5.1 薄层色谱实验原理第28页
        2.5.2 实验步骤第28-30页
    2.6 柱色谱分离第30-32页
        2.6.1 柱色谱实验原理第30页
        2.6.2 实验步骤第30-32页
第三章 切削液剖析实验的结果与讨论第32-52页
    3.1 切削液的初步分析第32-33页
        3.1.1 物理性状第32页
        3.1.2 含固量测定第32页
        3.1.3 溶解性测定第32-33页
        3.1.4 pH值测定第33页
        3.1.5 浊点测定第33页
        3.1.6 离子类型的鉴定第33页
        3.1.7 元素鉴定第33页
    3.2 蒸馏第33-34页
    3.3 全组分紫外光谱第34-35页
    3.4 全组分红外光谱第35-36页
    3.5 样品中各主要成分分离第36-42页
        3.5.1 薄层色谱初步分离样品第36页
        3.5.2 经典硅胶柱色谱分离第36-42页
    3.6 各主要组分紫外分析第42页
    3.7 各主要组分红外光谱图分析第42-43页
    3.8 各主要组分核磁共振氢谱解析第43-49页
    3.9 各主要组分核磁共振碳谱解析第49-51页
    3.10 本章小结第51-52页
第四章 复配金刚石线锯水基切削液第52-58页
    4.1 金刚石线锯水基切削液添加剂的选择依据第52-54页
        4.1.1 表面活性剂的初步选择第52页
        4.1.2 润滑防锈剂的选择第52-53页
        4.1.3 消泡剂的选择第53-54页
    4.2 实验所用仪器和原料第54页
        4.2.1 实验仪器第54页
        4.2.2 实验原料第54页
    4.3 金刚石线锯水基切削液的复配第54-55页
    4.4 水基切削液的制备方法第55页
    4.5 复配切削液的理化性能测试第55-57页
        4.5.1 pH值测定第55-56页
        4.5.2 表面张力测定第56页
        4.5.3 电导率测定第56页
        4.5.4 泡沫性能测定第56-57页
    4.6 本章小结第57-58页
第五章 应用实验第58-64页
    5.1 第一次试验第58-60页
        5.1.1 试验的时间、地点和油剂品种第58页
        5.1.2 切割工艺第58页
        5.1.3 试验计划第58页
        5.1.4 试验结果与讨论第58-60页
    5.2 第二次试验第60-62页
        5.2.1 试验的时间、地点和油剂品种第60页
        5.2.2 切割工艺第60页
        5.2.3 试验计划第60-61页
        5.2.4 试验结果与讨论第61-62页
    5.3 本章小结第62-64页
第六章 结论第64-66页
参考文献第66-70页
硕士期间发表论文第70-72页
致谢第72页

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