| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.2 光刻物镜调节机构的研究现状 | 第14-19页 |
| 1.3 论文主要研究内容与结构安排 | 第19-20页 |
| 第二章光学元件狭缝柔性调节机构 | 第20-36页 |
| 2.1 柔性结构介绍 | 第20-23页 |
| 2.2 狭缝柔性调节机构概念设计 | 第23-25页 |
| 2.3 狭缝柔性结构刚度分析 | 第25-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 狭缝柔性调节机构优化设计 | 第36-50页 |
| 3.1 优化设计方法 | 第36-37页 |
| 3.2 柔性调节机构数学模型的建立 | 第37-43页 |
| 3.3 狭缝柔性结构的优化设计 | 第43-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 狭缝柔性结构仿真分析 | 第50-70页 |
| 4.1 调节机构建模 | 第50-51页 |
| 4.2 柔性调节机构性能仿真分析 | 第51-59页 |
| 4.3 光学元件狭缝柔性调节机构对光学元件的影响分析 | 第59-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 狭缝柔性调节机构实验研究 | 第70-80页 |
| 5.1 光学元件调节机构的组装 | 第70-72页 |
| 5.2 狭缝柔性调节机构的调节精度测试 | 第72-76页 |
| 5.3 狭缝柔性调节机构导向精度测试 | 第76-79页 |
| 5.4 本章小结 | 第79-80页 |
| 第六章 结论和展望 | 第80-84页 |
| 6.1 结论 | 第80-81页 |
| 6.2 论文创新点 | 第81页 |
| 6.3 研究展望 | 第81-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第88-90页 |
| 指导教师及作者简介 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |