| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·选题背景及研究意义 | 第7-8页 |
| ·选题背景 | 第7-8页 |
| ·研究意义 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·压电微悬臂梁传感技术及应用前沿 | 第8-10页 |
| ·压电微悬臂梁智能结构有限元理论研究 | 第10-11页 |
| ·论文的主要内容及研究方法 | 第11-14页 |
| ·论文研究内容与框架 | 第11-12页 |
| ·研究方法与技术路线 | 第12-14页 |
| 2 有限元法分析微压电微悬臂梁振动 | 第14-29页 |
| ·有限元法在计算中的应用 | 第14-16页 |
| ·有限元法的来源 | 第14页 |
| ·有限元法的求解步骤 | 第14-16页 |
| ·压电微悬臂梁理论 | 第16-18页 |
| ·压电微悬臂梁概述及作用 | 第16-17页 |
| ·压电微悬臂梁的工作模式 | 第17-18页 |
| ·使用ANSYS软件对压电微悬臂梁振动进行有限元分析 | 第18-21页 |
| ·模型的几何尺寸和材料常数 | 第18-19页 |
| ·网格划分 | 第19-20页 |
| ·约束模型的建立 | 第20-21页 |
| ·模型的求解 | 第21页 |
| ·模态分析结果的验证 | 第21-28页 |
| ·梁弯曲模态分析的理论基础 | 第21-25页 |
| ·ANSYS模态分析验证 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 微悬臂梁谐振频率分析 | 第29-44页 |
| ·研究方案 | 第29页 |
| ·程序设计 | 第29-30页 |
| ·结果分析 | 第30-43页 |
| ·基底材料各参数对微悬臂梁谐振频率的影响分析 | 第30-34页 |
| ·压电层材料各参数对微悬臂梁谐振频率的影响分析 | 第34-38页 |
| ·电极层材料各参数对微悬臂梁谐振频率的影响分析 | 第38-40页 |
| ·二氧化硅层各参数对微悬臂梁谐振频率的影响分析 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 压电微悬臂梁的传感灵敏度分析 | 第44-57页 |
| ·力一电藕合问题的数理基础 | 第44-45页 |
| ·压电微悬臂梁的传感灵敏度有限元分析假设 | 第45-49页 |
| ·单元类型与材料 | 第45-48页 |
| ·边界条件及初始条件 | 第48-49页 |
| ·结果分析 | 第49-56页 |
| ·基底材料各参数对微悬臂梁传感灵敏度的影响 | 第49-51页 |
| ·压电层材料各参数对微悬臂梁传感灵敏度的影响 | 第51-52页 |
| ·电极层材料各参数对微悬臂梁传感灵敏度的影响 | 第52-54页 |
| ·二氧化硅层材料各参数对微悬臂梁的传感灵敏度的影响分析 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 总结与展望 | 第57-60页 |
| ·研究总结 | 第57-58页 |
| ·研究创新 | 第58-59页 |
| ·不足与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 附录 | 第65-67页 |