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耐高温窗口增透技术研究

致谢第1-5页
摘要第5-6页
ABSTRACT第6-10页
1 绪论第10-35页
   ·研究背景第10-11页
   ·光学窗口材料第11-12页
   ·窗口表面减反射薄膜第12-16页
     ·光学减反膜原理第12-14页
     ·窗口表面镀膜工艺研究第14-15页
     ·窗口薄膜高温性能研究第15-16页
   ·窗口表面亚波长减反射结构第16-25页
     ·亚波长减反射结构分类第16-19页
     ·亚波长减反射结构构筑第19-21页
     ·表面随机减反射结构应用第21-25页
   ·本论文主要研究内容第25-27页
 参考文献第27-35页
2 耐高温窗口干涉薄膜第35-64页
   ·引言第35页
   ·光学干涉薄膜的设计与制备第35-48页
     ·常用单层氧化物薄膜材料高温稳定性测试及分析第35-42页
     ·熔石英窗口Ta_2O_5/SiO_2减反射膜系优化设计第42-45页
     ·膜系结构的评价与分析第45-46页
     ·光学薄膜的制备第46-48页
   ·光学干涉薄膜高温性能研究与分析第48-60页
     ·薄膜高温结构特性第48-50页
     ·薄膜高温光学特性第50-56页
     ·多层薄膜高温热应力理论分析第56-60页
 本章小结第60-61页
 参考文献第61-64页
3 耐高温增透微结构理论模型分析第64-89页
   ·引言第64-65页
   ·亚波长结构理论第65-74页
     ·等效介质理论(EMT)第65-67页
     ·一维严格耦合波理论第67-70页
     ·二维严格耦合波理论第70-74页
   ·二维周期性结构参数影响分析第74-77页
     ·严格耦合波程序正确性验证第74-75页
     ·结构参数对熔石英窗口光学性能的影响第75-77页
   ·一维随机分布状态影响分析第77-84页
     ·一维严格耦合波程序正确性验证第79-81页
     ·模拟参数的确定第81-82页
     ·随机分布对减反射微结构衍射效率的影响第82-84页
 本章小结第84-85页
 参考文献第85-89页
4 耐高温窗口增透随机微结构第89-107页
   ·引言第89页
   ·自组装金属纳米掩模结构原理第89-91页
   ·自组装Au纳米掩模结构构造表面减反射微结构第91-95页
     ·自组装Au纳米金属掩模结构制备与处理第91-94页
     ·熔石英窗口表面减反射随机微结构研究第94-95页
   ·自组装Ag纳米掩模结构构造表面减反射微结构第95-101页
     ·自组装金属Ag纳米掩模结构制备与处理第95-98页
     ·熔石英窗口表面减反射随机微结构研究第98-101页
   ·减反射随机微结构耐高温性能第101-102页
   ·减反射随机微结构表面镀膜技术初步研究第102-104页
 本章小结第104-105页
 参考文献第105-107页
5 总结与展望第107-110页
   ·论文主要工作第107-108页
   ·论文创新点第108页
   ·存在的问题第108-109页
   ·对后续工作建议第109-110页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第110页

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