高精度曲率半径干涉测量技术研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-31页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第11-16页 |
| ·曲率半径测量研究现状及发展趋势 | 第16-29页 |
| ·接触式曲率半径测量 | 第16-22页 |
| ·非接触式曲率半径测量 | 第22-25页 |
| ·曲率半径测量方法总结及发展趋势 | 第25-29页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 曲率半径干涉测量技术及主要误差来源 | 第31-39页 |
| ·概述 | 第31页 |
| ·非接触式曲率半径干涉测量光路 | 第31-32页 |
| ·曲率半径干涉测量技术 | 第32-34页 |
| ·影响曲率半径干涉测量精度的主要误差来源 | 第34-38页 |
| ·精度的概念 | 第34-35页 |
| ·主要误差源 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 测量环境对曲率半径干涉测量影响 | 第39-63页 |
| ·概述 | 第39页 |
| ·环境条件影响的理论基础 | 第39-46页 |
| ·折射率公式 | 第39-43页 |
| ·热弹性力学基本方程 | 第43-46页 |
| ·温度影响分析及仿真 | 第46-58页 |
| ·干涉测量系统误差 | 第47-50页 |
| ·被测光学元件自变形 | 第50-57页 |
| ·温度差引入的曲率半径理论合成误差 | 第57-58页 |
| ·温度影响对比实验 | 第58-61页 |
| ·气流扰动对比实验 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第4章 定焦误差影响分析 | 第63-80页 |
| ·概述 | 第63页 |
| ·定焦误差及其影响因素 | 第63-70页 |
| ·移相干涉仪 | 第63-64页 |
| ·非理想球面波前 | 第64-66页 |
| ·调整误差 | 第66-69页 |
| ·测长系统、环境及气流扰动的影响 | 第69-70页 |
| ·定焦误差合成 | 第70页 |
| ·定焦误差实验 | 第70-79页 |
| ·标准镜头倾斜与俯仰 | 第70-72页 |
| ·被测光学元件的旋转 | 第72-73页 |
| ·被测光学元件的径向平移 | 第73-74页 |
| ·被测光学元件的轴向平移 | 第74-75页 |
| ·综合调整误差 | 第75-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第5章 共焦位置测量口径影响分析 | 第80-93页 |
| ·概述 | 第80页 |
| ·不同测量口径的影响 | 第80-83页 |
| ·像差补偿法 | 第83-85页 |
| ·测量口径影响实验 | 第85-92页 |
| ·凹球面光学样板 | 第85-87页 |
| ·凸球面光学样板 | 第87-90页 |
| ·差动共焦曲率半径测量结果对比 | 第90-91页 |
| ·测量口径误差补偿 | 第91-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第6章 实验与不确定度合成 | 第93-105页 |
| ·概述 | 第93页 |
| ·曲率半径干涉测量实验 | 第93-94页 |
| ·误差补偿 | 第94-98页 |
| ·输入参数 | 第94-96页 |
| ·误差补偿 | 第96-98页 |
| ·测量不确定度分析与合成 | 第98-104页 |
| ·不确定度分析 | 第99-102页 |
| ·不确定度合成 | 第102-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第7章 总结与展望 | 第105-109页 |
| ·全文总结 | 第105-106页 |
| ·主要的创新点 | 第106-107页 |
| ·研究展望 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-117页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第117-118页 |
