基于PZT厚膜的MEMS超声换能器
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| ·MEMS 与超声技术 | 第12-17页 |
| ·超声简介 | 第12-13页 |
| ·超声换能器的微型化 | 第13-14页 |
| ·硅微超声换能器的应用 | 第14-17页 |
| ·MEMS 超声换能器的研究现状 | 第17-23页 |
| ·本论文的研究目标及意义 | 第23-24页 |
| ·本论文的研究内容及结构 | 第24-25页 |
| 第2章 硅微超声换能器的结构设计 | 第25-37页 |
| ·硅微超声换能器的结构 | 第25-32页 |
| ·压电物理基础 | 第25-28页 |
| ·硅微超声换能器的结构及参数 | 第28-30页 |
| ·硅微超声换能器的有限元模型 | 第30-32页 |
| ·硅微超声换能器的参数优化 | 第32-35页 |
| ·换能器尺寸优化 | 第32-33页 |
| ·电极尺寸优化 | 第33-34页 |
| ·Si/PZT 厚度参数优化 | 第34-35页 |
| ·换能器优化参数总结 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 硅微超声换能器的制备 | 第37-46页 |
| ·硅微超声换能器的制备 | 第37-40页 |
| ·PZT 陶瓷片和硅衬底的接合 | 第38-39页 |
| ·PZT 陶瓷片的湿法刻蚀减薄 | 第39-40页 |
| ·PZT 厚膜的电学性能测试 | 第40-45页 |
| ·介电性能测试 | 第40-41页 |
| ·铁电性能测试 | 第41-43页 |
| ·压电性能测试 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 硅微超声换能器的性能表征 | 第46-54页 |
| ·硅微超声换能器的性能表征方法 | 第46-48页 |
| ·阻抗检测方法 | 第46-47页 |
| ·位移量及振幅检测方法 | 第47-48页 |
| ·单元初始形变及镜面粗糙度检测方法 | 第48页 |
| ·pMUT 的性能测试 | 第48-53页 |
| ·换能器的初始形变 | 第48-50页 |
| ·阻抗及Q 值测试 | 第50-51页 |
| ·电压-位移特性测试 | 第51-52页 |
| ·振幅-频率测试 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·总结 | 第54-55页 |
| ·本论文的主要工作及结论 | 第54页 |
| ·本论文的创新点 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 在读硕士期间发表的论文与取得的研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
