| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题背景 | 第10页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第10-11页 |
| ·国内外表面检测技术的发展现状 | 第11-20页 |
| ·国外表面检测技术的发展现状 | 第11-15页 |
| ·国内表面检测技术的发展现状 | 第15-20页 |
| ·本论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 第2章 光学法表面检测原理 | 第21-43页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·光学探针法表面检测原理 | 第21-28页 |
| ·外差干涉法 | 第21-23页 |
| ·三角法 | 第23-25页 |
| ·离焦误差检测法 | 第25-26页 |
| ·共焦扫描探针法 | 第26-28页 |
| ·反射法表面检测原理 | 第28-33页 |
| ·透光镜反射法 | 第28-29页 |
| ·带钢在线检测法 | 第29-30页 |
| ·反射角检测法 | 第30-31页 |
| ·光斑检测法 | 第31-33页 |
| ·散射法表面检测原理 | 第33-36页 |
| ·积分散射仪 | 第33-34页 |
| ·Fourier 法 | 第34-36页 |
| ·干涉法表面检测原理 | 第36-40页 |
| ·移相干涉检测法 | 第36-37页 |
| ·白光相移干涉法 | 第37-39页 |
| ·干涉显微镜 | 第39-40页 |
| ·偏振光椭圆率检测法表面检测原理 | 第40-42页 |
| ·检测原理 | 第40-41页 |
| ·检测方法 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 OMSDS 系统设计 | 第43-49页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·OMSDS 设计原理 | 第43-44页 |
| ·OMSDS 系统设计 | 第44页 |
| ·关于待测样品 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 OMSDS 图像采集子系统 | 第49-58页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·光源的选择 | 第49-50页 |
| ·仪器基本光路 | 第50-52页 |
| ·基本光路设计 | 第50-51页 |
| ·光路原理 | 第51-52页 |
| ·图像传感器的选择 | 第52-54页 |
| ·CCD | 第52页 |
| ·CMOS 图像传感器 | 第52-54页 |
| ·OV5610 的原理 | 第54-55页 |
| ·OV5610 特性 | 第54页 |
| ·OV5610 结构 | 第54-55页 |
| ·图像采集电路设计 | 第55-57页 |
| ·OV5610 供电系统设计 | 第55-56页 |
| ·OV5610 外围电路设计 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 OMSDS 数据传输子系统 | 第58-77页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·CY7C68013A 的原理 | 第58-62页 |
| ·功能特点 | 第59-60页 |
| ·增强型8051CPU | 第60页 |
| ·存储空间 | 第60-62页 |
| ·I/O 系统 | 第62页 |
| ·列举和重列举 | 第62页 |
| ·USB 协议描述 | 第62-65页 |
| ·I~2C 总线描述 | 第65-68页 |
| ·数据传输电路的设计 | 第68-69页 |
| ·CY7C68013A 外围电路设计 | 第68页 |
| ·CY7C68013A 与OV5610 接口设计 | 第68-69页 |
| ·CY7C68013A 固件程序设计 | 第69-75页 |
| ·寄存器定义 | 第71-72页 |
| ·常量、数据类型和宏定义 | 第72页 |
| ·同步延时宏定义 | 第72页 |
| ·USB 描述符定义 | 第72页 |
| ·延时和挂起子程序 | 第72-73页 |
| ·中断跳转表 | 第73页 |
| ·主程序 | 第73页 |
| ·用户功能函数 | 第73-74页 |
| ·开发板验证 | 第74-75页 |
| ·USB2.0 驱动程序设计 | 第75-76页 |
| ·EZ-USB FX2 定制驱动程序生成 | 第75页 |
| ·EZ-USB FX2 设备驱动程序与应用程序接口 | 第75-76页 |
| ·固件装载驱动程序 | 第76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第6章 OMSDS 数据处理子系统 | 第77-86页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·数据处理子系统功能模块设计 | 第77-79页 |
| ·数据处理子系统算法初步 | 第79-83页 |
| ·图像滤波 | 第80-81页 |
| ·图像增强 | 第81页 |
| ·直方图分割 | 第81-82页 |
| ·图像边缘检测 | 第82页 |
| ·图像细化 | 第82-83页 |
| ·用户程序界面设计 | 第83-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 结论 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-92页 |
| 附录1 OV5610 外围电路图 | 第92-93页 |
| 附录2 CY7C68013A 外围电路图 | 第93-94页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96页 |