| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·微环谐振器的应用 | 第8-14页 |
| ·激光稳频和调频器 | 第9-10页 |
| ·光波导分插复用器 | 第10-11页 |
| ·生物化学传感器 | 第11-12页 |
| ·光开关 | 第12-13页 |
| ·光延时线 | 第13-14页 |
| ·色散补偿器 | 第14页 |
| ·波导微环谐振器相关研究的国内外进展和现状 | 第14-18页 |
| ·微环谐振腔器结构的发展 | 第15-16页 |
| ·微环谐振腔器功能的变化 | 第16-17页 |
| ·微环谐振腔器材料的进步 | 第17-18页 |
| ·聚合物光波导材料的优点 | 第18-19页 |
| ·本论文的研究工作 | 第19-20页 |
| 2 微环谐振器理论分析 | 第20-25页 |
| ·微环谐振器理论模型 | 第20-22页 |
| ·微环谐振器性能参数 | 第22-23页 |
| ·耦合及损耗影响 | 第23-25页 |
| 3 液态聚合物PSQ性能及成膜分析 | 第25-36页 |
| ·液态 PSQ合成 | 第25页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第25-29页 |
| ·成膜前材料处理 | 第26页 |
| ·衬底处理 | 第26-27页 |
| ·旋涂成膜 | 第27-28页 |
| ·薄膜固化 | 第28-29页 |
| ·薄膜光学性能 | 第29-34页 |
| ·折射率及双折射 | 第29-31页 |
| ·热光系数 | 第31-32页 |
| ·光学损耗 | 第32-33页 |
| ·光引发剂对材料性能的影响 | 第33-34页 |
| ·液态PSQ材料优点 | 第34-36页 |
| 4 基于液态聚合物 PSQ倒脊型微环谐振器和掩模版设计 | 第36-55页 |
| ·波导截面尺寸 | 第36-38页 |
| ·残留层厚度的选择 | 第37-38页 |
| ·波导宽度选择 | 第38页 |
| ·损耗模拟分析 | 第38-44页 |
| ·耦合系数分析 | 第44-47页 |
| ·陷波滤波器设计 | 第47-48页 |
| ·掩模版设计 | 第48-55页 |
| 5 波导及微环谐振腔无热化分析与设计 | 第55-63页 |
| ·实现光波导无热化的原理 | 第55-57页 |
| ·基于聚合物材料谐振器温度不敏感分析 | 第57-63页 |
| ·有机、无机相结合结构的无热化波导 | 第57-61页 |
| ·全聚合物结构无热化光波导 | 第61-63页 |
| 6 波导制作及性能测试 | 第63-75页 |
| ·波导制作工艺 | 第63-69页 |
| ·光刻-刻蚀技术 | 第63-67页 |
| ·纳米压印技术 | 第67-69页 |
| ·波导测试系统设计 | 第69-75页 |
| ·透镜光纤设计 | 第69-73页 |
| ·调整测试部分 | 第73-75页 |
| 结论与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |