| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 1 绪论 | 第11-21页 |
| ·低温等离子体增强微细加工 | 第11-12页 |
| ·常见的低温等离子体源 | 第12-16页 |
| ·射频容性耦合等离子体源 | 第12-14页 |
| ·微波电子回旋共振等离子体源 | 第14-15页 |
| ·射频感应耦合等离子体源 | 第15-16页 |
| ·射频感应耦合等离子体研究进展 | 第16-19页 |
| ·本文的研究内容及编排 | 第19-21页 |
| 2 无碰撞电子加热及反常趋肤效应 | 第21-45页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·一维无磁化射频感应耦合等离子体平板模型 | 第21-32页 |
| ·基本假设 | 第21-23页 |
| ·电子动力学方程 | 第23-26页 |
| ·电磁场方程 | 第26-27页 |
| ·数值差分格式及计算流程 | 第27-28页 |
| ·结果与讨论 | 第28-32页 |
| ·一维磁化射频感应耦合等离子体平板模型 | 第32-44页 |
| ·基本模型 | 第33-36页 |
| ·结果与分析 | 第36-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 3 柱状线圈射频感应耦合等离子体二维动力学模拟 | 第45-57页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·基本模型 | 第45-49页 |
| ·模型描述及基本假设 | 第45-46页 |
| ·自洽的二维动力学方程 | 第46-49页 |
| ·数值结果与分析 | 第49-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 4 平面线圈射频感应耦合等离子体二维动力学模拟与实验验证 | 第57-73页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·基本模型 | 第57-61页 |
| ·模型描述与基本假设 | 第57-58页 |
| ·电子动力学方程 | 第58-60页 |
| ·电磁场方程 | 第60-61页 |
| ·数值结果与分析 | 第61-72页 |
| ·Godyak实验结果比较 | 第61-66页 |
| ·非平衡等离子体中的射频电场穿透和功率沉积 | 第66-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 5 平面线圈射频感应耦合等离子体中的实验诊断 | 第73-94页 |
| ·实验装置简述 | 第73-74页 |
| ·朗缪尔探针诊断技术 | 第74-80页 |
| ·Smartsoft软件中的分析方法 | 第77-79页 |
| ·电负性等离子体诊断中应注意的问题 | 第79-80页 |
| ·测量结果与分析 | 第80-93页 |
| ·氩气(Ar)放电 | 第80-87页 |
| ·氧气(O_2)放电 | 第87-92页 |
| ·氩气中掺入氧气(Ar/O_2)的混合放电 | 第92-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 结论与展望 | 第94-96页 |
| ·本文主要结论 | 第94-95页 |
| ·展望 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-101页 |
| 附录A 推导能量扩散系数 | 第101-102页 |
| 附录B 磁化射频感应耦合等离子体中扰动分布函数的推导 | 第102-104页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第104-105页 |
| 创新点摘要 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |