二维微加速度传感器检测电路的研究

中文摘要	第1-5页
英文摘要	第5-8页
1 绪论	第8-16页
·引言	第8页
·硅微加速度传感器国内外研究现状	第8-12页
·硅微加速度检测电路研究现状	第12-15页
·本文研究意义及研究的主要内容	第15-16页
2 硅微加速度传感器结构和工作原理	第16-25页
·引言	第16页
·一维加速度传感器的结构和工作原理	第16-21页
·基本原理	第16-18页
·基本结构	第18-21页
·二维加速度传感器结构和工作原理	第21-25页
3 检测电路的研究	第25-56页
·引言	第25页
·检测电路原理	第25-33页
·开环检测原理	第25-29页
·闭环检测原理	第29-33页
·二维加速度传感器检测原理	第33页
·检测电路总体方案	第33-34页
·系统检测电路的组成	第34-35页
·激励源电路模块	第35-38页
·检测与放大电路模块	第38-42页
·解调电路模块	第42-49页
·乘法器解调原理	第42-43页
·模拟开关解调原理	第43-45页
·解调电路的具体设计	第45-49页
·闭环反馈电路	第49-53页
·电平转换电路的设计	第50页
·脉宽调制器电路的设计	第50-53页
·驱动电路的设计	第53页
·电路电源	第53-56页
4 检测电路的调试与分析	第56-71页
·引言	第56页
·检测电路调试实验	第56-64页
·检测电路的单元模块调试实验	第57-62页
·系统电路联调试验	第62-64页
·电路的噪声实验分析	第64-67页
·加速度传感器测试实验	第67-68页
·结果分析	第68-71页
5 结论	第71-72页
致谢	第72-73页
参考文献	第73-76页
附录	第76-77页