| 第1章 引言 | 第1-16页 |
| 课题的背景与目的 | 第8-14页 |
| 本研究的内容和本论文的安排 | 第14-16页 |
| 第2章 SPEC MEMS 压控电容的FEA 方法仿真与分析 | 第16-26页 |
| SPEC MEMS 电容的结构与工作原理 | 第16-19页 |
| SPEC MEMS 压控电容的有限元分析 | 第19-24页 |
| 本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 SPEC MEMS 压控电容力学结构的能量法分析与优化 | 第26-44页 |
| SPEC MEMS 电容的力学分析能量法模型 | 第26-32页 |
| 能量法计算结果的验证 | 第32-34页 |
| 各种参数对SPEC MEMS 压控电容的影响 | 第34-40页 |
| SPEC MEMS 电容力学结构的设计优化 | 第40-43页 |
| 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 SPEC MEMS 压控电容的电学设计与仿真 | 第44-62页 |
| MEMS 压控电容的电学等效电路及其计算 | 第44-57页 |
| MEMS 压控电容的软件仿真 | 第57-60页 |
| MEMS 压控电容电学性能的计算、仿真结果的对比与讨论 | 第60-61页 |
| 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 SPEC MEMS 压控电容的工艺设计与流水 | 第62-88页 |
| SPEC MEMS 压控电容关键工艺研究 | 第62-80页 |
| SPEC MEMS 压控电容的版图、工艺流程与经验 | 第80-85页 |
| 氧化多孔硅上制作的SPEC MEMS 压控电容的掩膜要求 | 第85-87页 |
| 本章小结 | 第87-88页 |
| 第6章 SPEC MEMS 压控电容的测试结果与讨论 | 第88-105页 |
| 铝薄膜可动极板SPEC MEMS 电容的器件性能测试 | 第88-93页 |
| 复合薄膜可动极板SPEC MEMS 电容的器件性能测试 | 第93-96页 |
| 不同衬底SPEC MEMS 电容的电学性能比较 | 第96-99页 |
| SPEC MEMS 压控电容的结构参数与力学性能分析 | 第99-103页 |
| 本章小结 | 第103-105页 |
| 第7章 结论 | 第105-107页 |
| 论文工作的主要内容 | 第105-106页 |
| 论文工作的创新点和主要成果 | 第106页 |
| 对进一步研究工作的展望 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-110页 |
| 致谢 | 第110页 |
| 声明 | 第110-111页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第111页 |
| 个人简历 | 第111页 |
| 发表的学术论文 | 第111页 |
