| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 目录 | 第11-16页 |
| 表格 | 第16-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-40页 |
| ·课题研究背景、意义及目的 | 第20-21页 |
| ·研究现状及发展 | 第21-34页 |
| ·电子皮肤 | 第21-23页 |
| ·界面应力传感器 | 第23-24页 |
| ·平板电容压力传感器 | 第24-25页 |
| ·声表面波技术及其传感器 | 第25-34页 |
| ·论文研究内容及创新点 | 第34-36页 |
| ·论文章节安排 | 第36-40页 |
| 第二章 用于电子皮肤的新型压力传感器的工作原理 | 第40-48页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·电子皮肤基本结构及其工作原理 | 第40-41页 |
| ·电子皮肤新型平板电容压力传感器基本结构和工作原理 | 第41-43页 |
| ·平板电容压力传感器工作原理 | 第41页 |
| ·新型平板电容压力传感器基本结构 | 第41页 |
| ·利用新型平板电容传感器极板间距变化测量Z向正压力 | 第41-42页 |
| ·利用平板电容极板重合面积变化测量X和Y向剪应力 | 第42-43页 |
| ·新型声表面波压力传感器基本结构及工作原理 | 第43-46页 |
| ·基本结构 | 第43页 |
| ·工作原理 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第三章 用于电子皮肤的新型压力传感器线性回归数学模型的建立及求解 | 第48-60页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·新型平板电容压力传感器对正压力的线性回归数学模型的建立及求解 | 第49-52页 |
| ·应力-应变模型函数类型的推导 | 第49-50页 |
| ·应力-应变模型的线性化 | 第50页 |
| ·应力-应变模型的求解 | 第50-51页 |
| ·输入输出回归分析模型的推导及求解 | 第51-52页 |
| ·新型平板电容压力传感器对剪压力的线性回归数学模型的建立及求解 | 第52-54页 |
| ·模型的建立 | 第52页 |
| ·模型的求解 | 第52-54页 |
| ·新型声表面波压力传感器的线性回归数学模型的建立及求解 | 第54-58页 |
| ·模型的建立 | 第55页 |
| ·模型的求解 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第四章 用于电子皮肤的新型压力传感器设计中关键问题的研究 | 第60-80页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·新型平板电容压力传感器设计中关键问题的研究 | 第60-65页 |
| ·设计流程 | 第60页 |
| ·测量范围的确定 | 第60-63页 |
| ·器件大小的确定 | 第63页 |
| ·中间分割层材料的选择 | 第63-64页 |
| ·机械部分设计 | 第64-65页 |
| ·电极耦合 | 第65页 |
| ·新型声表面波压力传感器设计中关键问题的研究 | 第65-78页 |
| ·衬底材料的选择及切割 | 第65-69页 |
| ·声表面波器件结构设计 | 第69-70页 |
| ·声表面波器件版图设计 | 第70-71页 |
| ·声表面波器件悬臂梁结构设计 | 第71-72页 |
| ·输入输出频率特性旁瓣的抑制 | 第72-74页 |
| ·温度补偿 | 第74-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 第五章 用于电子皮肤的新型压力传感器的制作 | 第80-90页 |
| ·引言 | 第80页 |
| ·新型平板电容压力传感器的制作 | 第80-83页 |
| ·表面制备 | 第80-82页 |
| ·底漆的制备 | 第82页 |
| ·模具的制备 | 第82页 |
| ·中间层分隔柱的制备 | 第82页 |
| ·固化 | 第82页 |
| ·去除多余PDMS材料 | 第82-83页 |
| ·融化蜡核 | 第83页 |
| ·基于声表面波器件的新型压力传感器的制作 | 第83-88页 |
| ·压电基片的制备 | 第83-85页 |
| ·金属膜的沉淀 | 第85页 |
| ·光刻胶的涂覆 | 第85-86页 |
| ·曝光、显影和坚膜 | 第86-87页 |
| ·腐蚀和去胶 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 第六章 实验测试及误差分析 | 第90-104页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·新型平板电容压力传感器的测试及误差分析 | 第90页 |
| ·实验测试 | 第90-93页 |
| ·结果与讨论 | 第93-99页 |
| ·正压力 | 第93-98页 |
| ·剪压力 | 第98-99页 |
| ·新型声表面波压力传感器的测试及误差分析 | 第99-100页 |
| ·实验测试 | 第99-100页 |
| ·结果及讨论 | 第100-102页 |
| ·结果 | 第100-102页 |
| ·线性度 | 第102页 |
| ·本章小结 | 第102-104页 |
| 第七章 应用研究 | 第104-112页 |
| ·引言 | 第104页 |
| ·用于电子皮肤的研究 | 第104-105页 |
| ·制作电子皮肤 | 第104-105页 |
| ·用于测量界面应力分布的研究 | 第105-108页 |
| ·其他应用 用于纱线张力的测量的研究 | 第108-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第八章 总结与展望 | 第112-116页 |
| ·总结 | 第112-113页 |
| ·展望 | 第113-116页 |
| 参考文献 | 第116-138页 |
| 致谢 | 第138-140页 |
| 攻读博士学位期间学术科研成果 | 第140-142页 |
| 1 期刊论文 | 第140页 |
| 2 国际会议 | 第140-141页 |
| 3 发明专利 | 第141页 |
| 4 科研项目 | 第141页 |
| 5 所获奖励 | 第141-142页 |
