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用于电子皮肤的新型压力传感器的研究

摘要第1-8页
Abstract第8-11页
目录第11-16页
表格第16-20页
第一章 绪论第20-40页
   ·课题研究背景、意义及目的第20-21页
   ·研究现状及发展第21-34页
     ·电子皮肤第21-23页
     ·界面应力传感器第23-24页
     ·平板电容压力传感器第24-25页
     ·声表面波技术及其传感器第25-34页
   ·论文研究内容及创新点第34-36页
   ·论文章节安排第36-40页
第二章 用于电子皮肤的新型压力传感器的工作原理第40-48页
   ·引言第40页
   ·电子皮肤基本结构及其工作原理第40-41页
   ·电子皮肤新型平板电容压力传感器基本结构和工作原理第41-43页
     ·平板电容压力传感器工作原理第41页
     ·新型平板电容压力传感器基本结构第41页
     ·利用新型平板电容传感器极板间距变化测量Z向正压力第41-42页
     ·利用平板电容极板重合面积变化测量X和Y向剪应力第42-43页
   ·新型声表面波压力传感器基本结构及工作原理第43-46页
     ·基本结构第43页
     ·工作原理第43-46页
   ·本章小结第46-48页
第三章 用于电子皮肤的新型压力传感器线性回归数学模型的建立及求解第48-60页
   ·引言第48-49页
   ·新型平板电容压力传感器对正压力的线性回归数学模型的建立及求解第49-52页
     ·应力-应变模型函数类型的推导第49-50页
     ·应力-应变模型的线性化第50页
     ·应力-应变模型的求解第50-51页
     ·输入输出回归分析模型的推导及求解第51-52页
   ·新型平板电容压力传感器对剪压力的线性回归数学模型的建立及求解第52-54页
     ·模型的建立第52页
     ·模型的求解第52-54页
   ·新型声表面波压力传感器的线性回归数学模型的建立及求解第54-58页
     ·模型的建立第55页
     ·模型的求解第55-58页
   ·本章小结第58-60页
第四章 用于电子皮肤的新型压力传感器设计中关键问题的研究第60-80页
   ·引言第60页
   ·新型平板电容压力传感器设计中关键问题的研究第60-65页
     ·设计流程第60页
     ·测量范围的确定第60-63页
     ·器件大小的确定第63页
     ·中间分割层材料的选择第63-64页
     ·机械部分设计第64-65页
     ·电极耦合第65页
   ·新型声表面波压力传感器设计中关键问题的研究第65-78页
     ·衬底材料的选择及切割第65-69页
     ·声表面波器件结构设计第69-70页
     ·声表面波器件版图设计第70-71页
     ·声表面波器件悬臂梁结构设计第71-72页
     ·输入输出频率特性旁瓣的抑制第72-74页
     ·温度补偿第74-78页
   ·本章小结第78-80页
第五章 用于电子皮肤的新型压力传感器的制作第80-90页
   ·引言第80页
   ·新型平板电容压力传感器的制作第80-83页
     ·表面制备第80-82页
     ·底漆的制备第82页
     ·模具的制备第82页
     ·中间层分隔柱的制备第82页
     ·固化第82页
     ·去除多余PDMS材料第82-83页
     ·融化蜡核第83页
   ·基于声表面波器件的新型压力传感器的制作第83-88页
     ·压电基片的制备第83-85页
     ·金属膜的沉淀第85页
     ·光刻胶的涂覆第85-86页
     ·曝光、显影和坚膜第86-87页
     ·腐蚀和去胶第87-88页
   ·本章小结第88-90页
第六章 实验测试及误差分析第90-104页
   ·引言第90页
   ·新型平板电容压力传感器的测试及误差分析第90页
   ·实验测试第90-93页
   ·结果与讨论第93-99页
     ·正压力第93-98页
     ·剪压力第98-99页
   ·新型声表面波压力传感器的测试及误差分析第99-100页
     ·实验测试第99-100页
   ·结果及讨论第100-102页
     ·结果第100-102页
     ·线性度第102页
   ·本章小结第102-104页
第七章 应用研究第104-112页
   ·引言第104页
   ·用于电子皮肤的研究第104-105页
     ·制作电子皮肤第104-105页
   ·用于测量界面应力分布的研究第105-108页
   ·其他应用 用于纱线张力的测量的研究第108-111页
   ·本章小结第111-112页
第八章 总结与展望第112-116页
   ·总结第112-113页
   ·展望第113-116页
参考文献第116-138页
致谢第138-140页
攻读博士学位期间学术科研成果第140-142页
 1 期刊论文第140页
 2 国际会议第140-141页
 3 发明专利第141页
 4 科研项目第141页
 5 所获奖励第141-142页

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