| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·引言 | 第8-11页 |
| ·薄膜材料 | 第8-9页 |
| ·透明导电薄膜 | 第9-11页 |
| ·AZO薄膜的基本性质 | 第11-15页 |
| ·AZO薄膜的晶体结构 | 第11-12页 |
| ·AZO薄膜的电学性质 | 第12-13页 |
| ·AZO薄膜的光学性质 | 第13-14页 |
| ·AZO薄膜的气敏特性 | 第14页 |
| ·AZO薄膜的压敏特性 | 第14页 |
| ·AZO薄膜的压电特性 | 第14-15页 |
| ·AZO薄膜的应用 | 第15-17页 |
| ·平面显示领域 | 第15页 |
| ·薄膜太阳能电池 | 第15页 |
| ·电磁屏蔽 | 第15-16页 |
| ·热阻挡层 | 第16页 |
| ·压电材料 | 第16-17页 |
| ·气敏传感器 | 第17页 |
| ·AZO薄膜的制备方法 | 第17-20页 |
| ·磁控溅射(Magnetron Sputtering) | 第17-18页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第18页 |
| ·金属有机物化学气相沉积(MOCVD) | 第18页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第18-19页 |
| ·喷雾热分解法(Spray Pyrolysis) | 第19页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第19-20页 |
| ·课题研究的意义及内容 | 第20-21页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法制备AZO薄膜 | 第21-28页 |
| ·溶胶-凝胶法成膜机理和工艺 | 第21-24页 |
| ·溶胶-凝胶法的定义 | 第21页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本原理 | 第21-23页 |
| ·溶胶-凝胶制备薄膜的方法 | 第23-24页 |
| ·实验原料及仪器设备 | 第24-25页 |
| ·实验原料 | 第24-25页 |
| ·实验设备与器材 | 第25页 |
| ·AZO薄膜试样制备过程 | 第25-28页 |
| ·溶胶的配制 | 第25-26页 |
| ·衬底的处理 | 第26页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第26-28页 |
| 第三章 AZO薄膜的结构表征及形貌观察 | 第28-41页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第28-30页 |
| ·扫描电子显微分析(SEM) | 第30-31页 |
| ·实验结果与讨论 | 第31-39页 |
| ·表面及断面形貌 | 第31-33页 |
| ·热处理温度对薄膜晶体结构的影响 | 第33-35页 |
| ·冷却速率对薄膜晶体结构的影响 | 第35页 |
| ·Al~(3+)掺杂浓度对薄膜晶体结构的影响 | 第35-37页 |
| ·溶胶浓度对薄膜晶体结构的影响 | 第37-38页 |
| ·干燥温度对薄膜晶体结构的影响 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39-41页 |
| 第四章 AZO薄膜的电学性能 | 第41-49页 |
| ·AZO薄膜的导电机理 | 第41-42页 |
| ·四探针法测量薄膜的方块电阻 | 第42-43页 |
| ·实验结果与讨论 | 第43-48页 |
| ·热处理温度和冷却速率对薄膜电学性能的影响 | 第43-45页 |
| ·Al~(3+)掺杂浓度对薄膜电学性能的影响 | 第45-46页 |
| ·旋涂层数对薄膜电学性能的影响 | 第46页 |
| ·溶胶浓度对薄膜电学性能的影响 | 第46-47页 |
| ·干燥温度对薄膜电学性能的影响 | 第47-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第五章 AZO薄膜的光学性能 | 第49-58页 |
| ·ZnO薄膜的光学性能 | 第49页 |
| ·紫外-可见分光光度计测量薄膜的透光率 | 第49-50页 |
| ·实验结果与讨论 | 第50-57页 |
| ·热处理温度对薄膜透光率的影响 | 第52-53页 |
| ·冷却速率对薄膜透光率的影响 | 第53页 |
| ·Al~(3+)掺杂浓度对薄膜透光率的影响 | 第53-56页 |
| ·旋涂层数和溶胶浓度对薄膜透光率的影响 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 在研究生期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |