| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·磁电阻效应 | 第10-17页 |
| ·各向异性磁电阻 | 第11页 |
| ·巨磁电阻效应 | 第11-13页 |
| ·隧道磁电阻效应 | 第13页 |
| ·巨磁电阻效应的理论解释 | 第13-15页 |
| ·TMR的理论描述 | 第15-17页 |
| ·隧道结热稳定性研究现状 | 第17-20页 |
| ·隧道结热稳定性研究现状 | 第17-18页 |
| ·FeCoB/MgO薄膜中元素扩散的理论分析 | 第18-20页 |
| ·本论文要研究的主要内容及意义 | 第20-22页 |
| 第二章 样品的制备与测试 | 第22-31页 |
| ·样品的制备 | 第22-25页 |
| ·磁控溅射原理 | 第22-23页 |
| ·本文所采用的磁控溅射设备介绍 | 第23-24页 |
| ·样品基片的准备 | 第24-25页 |
| ·样品的制备环境及参数 | 第25页 |
| ·样品的测试 | 第25-31页 |
| ·样品的厚度测试 | 第25-26页 |
| ·样品的结构分析 | 第26-27页 |
| ·样品的磁性测试 | 第27-28页 |
| ·样品的成分分析 | 第28-31页 |
| 第三章 实验结果与分析 | 第31-48页 |
| ·FeCoB/MgO薄膜的结构 | 第31-34页 |
| ·未退火时不同B含量FeCoB/MgO薄膜的结构 | 第31-32页 |
| ·退火温度对不同B含量FeCoB/MgO薄膜结构的影响 | 第32-34页 |
| ·FeCoB/MgO薄膜的成分 | 第34-44页 |
| ·退火后FeCoB/MgO薄膜成分扩散研究 | 第34-37页 |
| ·退火后FeCoB/MgO薄膜元素的俄歇线形分析 | 第37-44页 |
| ·FeCoB/MgO薄膜的磁性研究 | 第44-48页 |
| ·B含量对FeCoB/MgO磁性的影响 | 第44-45页 |
| ·退火温度对FeCoB/MgO薄膜磁性的影响 | 第45-48页 |
| 结论 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 致谢 | 第55页 |