| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-17页 |
| ·国内外基于场效应晶体管的微纳机械器件的研究现状 | 第10-14页 |
| ·基于场效应晶体管的微纳机械器件输出特性测试方法的研究现状 | 第14-17页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第17-19页 |
| 2 GaAs 基PHEMT 微结构力电耦合测试基础 | 第19-32页 |
| ·GaAs 材料的压阻效应 | 第19-20页 |
| ·GaAs 基PHEMT 微加速度计的设计 | 第20-25页 |
| ·高电子迁移率晶体管的原理 | 第20-22页 |
| ·GaAs 基P-HEMT 力电耦合验证结构的设计 | 第22-23页 |
| ·GaAs 基PHEMT 微加速度计的设计与加工 | 第23-25页 |
| ·GaAs 基PHEMT 微结构力电耦合原理 | 第25-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 3 GaAs 基PHEMT 微结构特性测试 | 第32-42页 |
| ·PHEMT 微结构万用表初步测试 | 第32-33页 |
| ·PHEMT 结构的I-V 特性及转移特性测试 | 第33-34页 |
| ·两种结构I-V 特性及转移特性对比测试与研究 | 第34-35页 |
| ·漏极负电流现象分析 | 第35-37页 |
| ·PHEMT 器件的温度特性研究 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 测试电路设计 | 第42-48页 |
| ·测试电路方案分析 | 第42-43页 |
| ·测试电路设计 | 第43-47页 |
| ·敏感单元供电模块设计 | 第43-44页 |
| ·可调稳压电源的设计 | 第44页 |
| ·差分放大电路设计 | 第44-45页 |
| ·低通滤波电路设计 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 GaAs 基PHEMT 微结构力电耦合实验验证 | 第48-69页 |
| ·GaAs 基PHEMT 微结构静态加压试验 | 第48-51页 |
| ·漏压、栅压与电流及输出变化量的关系测试与研究 | 第51-54页 |
| ·GaAs 基PHEMT 微加速度计的振动台标定 | 第54-57页 |
| ·频响测试 | 第57-59页 |
| ·等效压阻系数的计算 | 第59-67页 |
| ·加速度计的数学模型 | 第60-61页 |
| ·加速度计参数的理论计算 | 第61-65页 |
| ·压阻系数的计算 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 6 总结和展望 | 第69-71页 |
| 附录 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
