| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-31页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第14-20页 |
| ·太阳能电池的研究概况 | 第14-16页 |
| ·MOCVD 的研究概况 | 第16-18页 |
| ·薄膜生长机理的计算机模拟技术 | 第18-19页 |
| ·课题的来源 | 第19页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第19-20页 |
| ·课题研究现状和发展趋势 | 第20-28页 |
| ·高效太阳能电池的研究现状和发展趋势 | 第20-21页 |
| ·MOCVD 的研究现状和发展趋势 | 第21-23页 |
| ·薄膜生长原子理论研究现状及发展趋势 | 第23-24页 |
| ·虚拟现实可视化技术的研究现状和发展趋势 | 第24-28页 |
| ·论文研究的主要内容及结构 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第2章 MOCVD 热流场数值模拟与可视化研究 | 第31-51页 |
| ·GaInP 薄膜生长的物理化学原理 | 第31-32页 |
| ·MOCVD 系统的构成 | 第32-34页 |
| ·MOCVD 的外延薄膜生长动力学 | 第34-36页 |
| ·气体的输运过程 | 第34-35页 |
| ·影响生长速度的因素 | 第35-36页 |
| ·MOCVD 反应室内气体热流场的数值模拟研究 | 第36-39页 |
| ·MOCVD 反应室内气体热流场数学模型的建立 | 第36-37页 |
| ·网格划分 | 第37-38页 |
| ·边界条件的确定 | 第38-39页 |
| ·数值计算方法及流程 | 第39页 |
| ·MOCVD 反应室内气体热流场的可视化研究 | 第39-44页 |
| ·MOCVD 反应室内气体温度场可视化仿真 | 第40-41页 |
| ·MOCVD 反应室内气体速度场可视化仿真 | 第41-44页 |
| ·模拟仿真结果与讨论 | 第44-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 MOCVD 的 GaInP 薄膜生长工艺参数模型研究 | 第51-66页 |
| ·正交回归试验方法 | 第51-54页 |
| ·正交试验方法 | 第51-52页 |
| ·正交试验方法的步骤 | 第52-53页 |
| ·回归分析 | 第53-54页 |
| ·影响恒温区厚度的试验与结果分析 | 第54-60页 |
| ·试验方案设计 | 第54-57页 |
| ·试验结果分析 | 第57-60页 |
| ·回归模型建立和方差分析 | 第60-61页 |
| ·工艺参数影响作用和回归模型的试验验证 | 第61-65页 |
| ·工艺参数影响作用的试验验证 | 第61-63页 |
| ·回归模型的试验验证 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第4章 MOCVD 的 GaInP 薄膜生长动力学蒙特卡罗模拟与可视化研究 | 第66-85页 |
| ·薄膜的生长过程 | 第66-68页 |
| ·原子扩散过程 | 第66-67页 |
| ·临界岛尺寸 | 第67页 |
| ·岛的大小分布 | 第67-68页 |
| ·影响薄膜生长的因素 | 第68页 |
| ·薄膜生长的理论与方法 | 第68-70页 |
| ·动力学蒙特卡罗方法 | 第70-72页 |
| ·GaInP 薄膜生长的动力学蒙特卡罗模拟 | 第72-76页 |
| ·KMC 晶格空间 | 第72页 |
| ·KMC 事件 | 第72-75页 |
| ·两原子间作用势 | 第75页 |
| ·GaInP 薄膜生长的 KMC 模拟程序流程 | 第75-76页 |
| ·MOCVD 的 GaInP 薄膜生长可视化研究 | 第76-79页 |
| ·二维 GaInP 薄膜生长的可视化仿真 | 第77-78页 |
| ·三维 GaInP 薄膜生长的可视化仿真 | 第78-79页 |
| ·模拟仿真结果与讨论 | 第79-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第5章 高效太阳电池生长机理仿真系统的设计与实现 | 第85-100页 |
| ·仿真系统的设计方案 | 第85-88页 |
| ·硬件设计方案 | 第85-86页 |
| ·软件设计方案 | 第86-88页 |
| ·仿真系统的体系结构 | 第88-93页 |
| ·系统的功能构建 | 第88-89页 |
| ·系统的架构设计 | 第89-93页 |
| ·原型系统实现 | 第93-99页 |
| ·模拟计算层 | 第95页 |
| ·信息处理层 | 第95-96页 |
| ·可视化层 | 第96-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第6章 结论与展望 | 第100-102页 |
| ·本论文研究成果 | 第100页 |
| ·本文创新点 | 第100-101页 |
| ·进一步研究方向 | 第101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-109页 |
| 附录一 符号表 | 第109-111页 |
| 附录二 图表清单 | 第111-114页 |
| 附录三 GaInP 薄膜生长的源程序 | 第114-129页 |
| 攻读博士学位期间公开发表的论文 | 第129-131页 |
| 攻读博士学位期间参加的科研项目与所得奖励 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132页 |