溶胶—凝胶法制备多孔二氧化硅薄膜的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 课题背景与立项意义 | 第10-27页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·立项意义 | 第11-12页 |
| ·纳米孔绝热材料的绝热机理 | 第12-13页 |
| ·纳米孔超级绝热材料的特征 | 第13-14页 |
| ·纳米薄膜的制备 | 第14-18页 |
| ·磁控溅射法 | 第15页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第15-16页 |
| ·溶胶-凝胶法（Sol-gel 法） | 第16-18页 |
| ·材料的分析表征方法 | 第18-25页 |
| ·溶胶粘度分析 | 第18-19页 |
| ·溶胶或凝胶体的热分析 | 第19-20页 |
| ·红外光谱分析 | 第20-22页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第22-23页 |
| ·椭圆偏振仪 | 第23-25页 |
| ·本论文的工作 | 第25-27页 |
| 第二章 实验部分 | 第27-30页 |
| ·实验药品 | 第27页 |
| ·试验设备 | 第27页 |
| ·实验过程 | 第27-30页 |
| 第三章 分析与讨论 | 第30-63页 |
| ·加水量的讨论 | 第30页 |
| ·溶剂的讨论 | 第30-32页 |
| ·TEOS 催化机理讨论 | 第32-35页 |
| ·匀胶法制备薄膜原理 | 第35页 |
| · | 第35-45页 |
| ·热处理工艺方法的讨论 | 第36-39页 |
| ·有机添加剂的作用 | 第39-40页 |
| ·热处理温度的研究 | 第40-45页 |
| ·溶胶粘度测定 | 第45-46页 |
| ·红外光谱分析 | 第46-51页 |
| ·影响薄膜厚度的因素 | 第51-52页 |
| ·SIO_2 薄膜的SEM 比照分析 | 第52-59页 |
| ·多孔SIO_2 薄膜的热导率 | 第59-63页 |
| 第四章 结论 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第70-71页 |
