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离子束掺杂二氧化钛纳米薄膜光学性能的影响

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 绪论第11-14页
   ·论文的研究背景和意义第11-12页
   ·论文的主要研究内容第12-13页
   ·论文的主要研究结果第13-14页
第二章 TiO_2薄膜的制备及可见光催化性研究第14-27页
   ·TiO_2 的晶体结构和光催化性介绍第14-19页
     ·TiO_2 的晶体结构第14-15页
     ·TiO_2 的能带结构第15-16页
     ·TiO_2 光催化原理第16-18页
     ·TiO_2 光催化特性的研究发展第18-19页
   ·TiO_2 薄膜的制备方法简介第19-22页
     ·化学气相沉积(CVD)法第19-20页
     ·液相沉积法第20页
     ·物理气相沉积(PVD)法第20页
     ·原子层沉积法(ALD)第20-21页
     ·激光辅助分子束沉积法(LAMBD)第21页
     ·电化学制备法第21页
     ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)法第21-22页
     ·水热法第22页
   ·掺氮TiO_2 薄膜的制备方法简介第22-26页
     ·溅射法制备掺氮TiO_2第23-24页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第24页
     ·胺盐与TiO_2 胶体反应第24页
     ·加热法第24-25页
     ·机械化学法第25页
     ·加热含Ti、N 有机前驱体第25页
     ·等离子体处理法第25页
     ·离子注入法第25-26页
     ·其它制备方法第26页
   ·结论第26-27页
第三章 不同制备条件下TiO_2薄膜的光学性能第27-50页
   ·引言第27页
   ·实验方法第27-29页
     ·磁控溅射技术简介及TiO_2 薄膜的制备第27-28页
     ·TiO_2 薄膜样品的退火处理第28-29页
     ·TiO_2 薄膜样品的水热处理第29页
   ·主要分析方法第29-31页
     ·X 射线衍射(XRD)第29-30页
     ·原子力显微镜(AFM)第30页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)第30页
     ·紫外-可见吸收光谱分析(UV-Vis)第30页
     ·Eg 值的计算第30-31页
   ·实验结果分析第31-49页
     ·不同基底温度下制备的TiO_2 薄膜第31-35页
     ·不同氧分压下制备的TiO_2 薄膜第35-39页
     ·退火温度对TiO_2 薄膜光学性能的影响第39-44页
     ·不同水热处理温度对TiO_2 薄膜光学性能的影响第44-49页
   ·结论第49-50页
第四章 N 掺杂对TiO_2薄膜光学性能的影响第50-60页
   ·引言第50-51页
   ·N 离子的注入掺杂第51-53页
   ·实验与结果分析第53-59页
     ·N 掺杂对不同基体温度下制备的TiO_2 薄膜光学性能的影响第53-56页
     ·N 离子掺杂对不同氧分压下制备的TiO_2 薄膜光学性能的影响第56-59页
   ·结论第59-60页
第五章 结论第60-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-67页
攻硕期间取得的研究成果第67-68页

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