微透镜型光纤氢气传感器的实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·国内外光纤氢气传感技术的发展现状 | 第11-15页 |
| ·氢气敏感材料的发展现状 | 第15-16页 |
| ·本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第2章 微透镜型光纤氢气传感器的理论基础 | 第18-28页 |
| ·光纤传输原理 | 第18-19页 |
| ·光波在金属表面上的反射与透射 | 第19-23页 |
| ·金属中的透射波 | 第20-22页 |
| ·金属表面的反射 | 第22-23页 |
| ·微透镜型光纤氢气传感器的理论模拟 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 敏感膜的氢敏特性 | 第28-36页 |
| ·Pd膜的氢敏特性 | 第28-31页 |
| ·WO_3膜的氢敏特性 | 第31-33页 |
| ·Pd/WO_3复合膜的氢敏特性 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 光纤氢气传感器测试系统设计 | 第36-44页 |
| ·传感器系统原理 | 第36页 |
| ·光源的选择 | 第36-37页 |
| ·光电探测器的选择 | 第37-38页 |
| ·光电转换设计 | 第38页 |
| ·浓度显示的设计 | 第38-39页 |
| ·信号处理的设计 | 第39-41页 |
| ·系统的软件设计 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 传感系统的建立与探头制作 | 第44-54页 |
| ·传感系统的建立 | 第44-46页 |
| ·传感系统探头 | 第46-48页 |
| ·镀膜工艺 | 第48-53页 |
| ·磁控溅射原理 | 第48-49页 |
| ·光纤镀膜工艺 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 实验结果及分析 | 第54-63页 |
| ·氢气敏感膜厚度设计 | 第54页 |
| ·氢气敏感薄膜材料理化分析 | 第54-57页 |
| ·光纤氢气传感器分辨率实验 | 第57-58页 |
| ·氢气测试实验 | 第58-62页 |
| ·Pd膜氢气测试实验 | 第58-59页 |
| ·Pd/WO_3复合膜氢气测试实验 | 第59-60页 |
| ·Pd/WO_3共溅射膜氢气测试实验 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第7章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70页 |
