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用于绝对距离测量的He-Ne激光多波长干涉仪的研究

摘要第1-12页
Abstract第12-14页
第一章 绪论第14-33页
   ·光学干涉计量技术第15-19页
     ·激光外差干涉仪第15-17页
     ·多波长绝对距离干涉测量第17-19页
   ·多波长绝对距离干涉计量研究进展和发展趋势分析第19-26页
     ·国外多波长绝对距离干涉测量技术的发展第19-22页
     ·国内多波长绝对距离干涉测量技术的发展第22-26页
     ·发展趋势分析第26页
   ·绝对距离干涉系统的光源选择第26-30页
     ·He-Ne 激光器第26-28页
     ·He-Xe 激光器第28-29页
     ·CO_2 激光器第29页
     ·半导体激光器第29-30页
   ·论文选题背景和研究目标第30-31页
   ·论文主要内容第31-33页
第二章 633nm 波段双线三频He-Ne 激光合成波干涉测量方案的理论分析第33-44页
   ·合成波长的构成第34-36页
   ·合成波干涉测量的级间过渡条件和逐级精化理论第36-39页
   ·He-Ne 激光双线三频测量方案第39-43页
     ·只用双纵模拍频构成合成波长测量的方案分析第39-41页
     ·双线三频构成两级合成波长测量的方案分析第41-43页
   ·本章小结第43-44页
第三章 内置F-P 标准具产生629nm 波长的He-Ne 激光器第44-74页
   ·633nm 波段He-Ne 激光器内实现629nm 波长振荡的难第44-46页
   ·现有谱线选择方案分析第46-48页
   ·用F-P 标准具法选择谱线的理论分析第48-51页
   ·F-P 标准具各参数选择第51-55页
     ·F-P 标准具长度的选择第51-53页
     ·F-P 标准具反射率的选择第53-55页
   ·用高斯光束法分析F-P 标准具的透射特性第55-61页
     ·F-P 标准具的损耗分析第55-57页
     ·用高斯光束模型作仿真计算第57-61页
   ·激光器设计与参数选取第61-64页
     ·腔结构的设计第61页
     ·F-P 标准具的调节机构第61-62页
     ·放电电流的选取第62-63页
     ·光学元件的选取第63-64页
   ·内置F-P 标准具629nm He-Ne 激光器的实验研究第64-68页
     ·629nm 和633nm 两波长的认定与输出功率测第64-65页
     ·629nm 和633nm 两谱线的振荡模第65-67页
     ·F-P 标准具的调节机构裕度实验第67-68页
   ·629nm 波长He-Ne 激光器的稳频第68-72页
     ·小抖动稳频原理第68-70页
     ·频率稳定性的测量第70-72页
   ·本章小结第72-74页
第四章 双纵模He-Ne 激光器第74-87页
   ·双纵模He-Ne 激光器特性及稳频原理第74-79页
     ·双纵模激光器中的模式特性分析第74-78页
     ·等光强法双纵模稳频第78-79页
   ·双纵模He-Ne 激光器拍频不确定度的理论分析第79-83页
     ·理论分析第80页
     ·考虑了模牵引效应后拍频公式的修正第80-83页
   ·稳频实验结果第83-85页
   ·本章小结第85-87页
第五章 绝对距离干涉测量实验第87-108页
   ·采用117μm 合成波长的干涉仪设计方案第87-94页
     ·超外差干涉法第87-91页
     ·信号的混频滤波第91-92页
     ·用数字相敏解调算法测量相位第92页
     ·相位测量实验第92-94页
   ·用117 μm 合成波长作绝对距离测量实验第94-97页
     ·动态位移测量第95-96页
     ·静态稳定度测量第96-97页
   ·各种误差因素第97-103页
     ·合成波长不确定性引起的测量不确定度第98-99页
     ·测相电路带来的误差第99-100页
     ·大气折射率对测量不确定度的影响第100-103页
   ·双纵模He-Ne 激光绝对距离测量实验与分析第103-106页
     ·双纵模绝对距离测量实验第103-105页
     ·误差分析第105-106页
   ·本章小结第106-108页
第六章 结论与展望第108-111页
致谢第111-112页
参考文献第112-119页
作者在学期间取得的学术成果第119页

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