基于剪应力检测的新型石英微陀螺关键技术研究
| 摘要 | 第1-16页 |
| Abstract | 第16-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-30页 |
| ·论文研究的背景及意义 | 第19-20页 |
| ·国内外微陀螺研究综述 | 第20-25页 |
| ·国外硅微陀螺研究综述 | 第20-21页 |
| ·国外石英微陀螺研究综述 | 第21-25页 |
| ·国内微陀螺研究综述 | 第25页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第25-30页 |
| ·课题的提出 | 第25-28页 |
| ·论文的组织结构 | 第28-30页 |
| 第二章 新型石英微陀螺的结构设计理论 | 第30-58页 |
| ·总体结构与工作原理 | 第30-37页 |
| ·总体结构设计 | 第30-32页 |
| ·基本工作原理 | 第32-36页 |
| ·与现有石英微陀螺结构的比较 | 第36-37页 |
| ·驱动梁的力学分析 | 第37-41页 |
| ·驱动梁的内应力与弯矩 | 第37-38页 |
| ·驱动梁的模态分析 | 第38-41页 |
| ·敏感梁的力学分析 | 第41-52页 |
| ·敏感梁的剪力与弯矩 | 第42-44页 |
| ·敏感梁的应力与电荷分布 | 第44-49页 |
| ·敏感梁的模态分析 | 第49-52页 |
| ·结构尺寸确定与分析 | 第52-57页 |
| ·结构尺寸 | 第52-53页 |
| ·驱动梁位置 | 第53-54页 |
| ·敏感电极位置 | 第54-55页 |
| ·敏感梁锥度 | 第55页 |
| ·有限元仿真 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第三章 新型石英微陀螺的动态特性分析 | 第58-84页 |
| ·阻尼分析 | 第58-64页 |
| ·空气阻尼 | 第58-60页 |
| ·热弹性阻尼 | 第60-61页 |
| ·支撑阻尼 | 第61-62页 |
| ·品质因子 | 第62-64页 |
| ·驱动梁的稳态响应 | 第64-69页 |
| ·激励电场产生的力 | 第64-65页 |
| ·驱动梁的稳态响应 | 第65-68页 |
| ·哥氏力 | 第68-69页 |
| ·敏感梁的稳态响应 | 第69-73页 |
| ·敏感梁的稳态响应 | 第69-71页 |
| ·敏感梁的电极电流 | 第71-73页 |
| ·等效电路描述 | 第73-82页 |
| ·导纳圆方法基础 | 第74-77页 |
| ·新型石英微陀螺的等效电路 | 第77-81页 |
| ·等效电路的参数辨识 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第四章 新型石英微陀螺的加工工艺 | 第84-98页 |
| ·基本工艺流程设计 | 第84-86页 |
| ·石英微结构的制作 | 第86-95页 |
| ·石英各向异性湿法腐蚀 | 第86-93页 |
| ·侧壁修形工艺 | 第93-94页 |
| ·腐蚀掩膜层的制备工艺 | 第94-95页 |
| ·三维表面电极的制作 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第五章 新型石英微陀螺测控技术 | 第98-114页 |
| ·微弱信号检测技术 | 第98-100页 |
| ·弱电流检测 | 第98-99页 |
| ·弱电荷检测 | 第99-100页 |
| ·驱动控制技术 | 第100-109页 |
| ·驱动轴的谐振激励 | 第101-103页 |
| ·静电容补偿方法 | 第103-105页 |
| ·驱动轴的速度幅值控制 | 第105-109页 |
| ·角速度检测技术 | 第109-110页 |
| ·测控电路的设计与测试 | 第110-113页 |
| ·测控电路设计 | 第110-112页 |
| ·测控电路测试 | 第112-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 第六章 新型石英微陀螺性能测试 | 第114-120页 |
| ·测试系统与测试标准 | 第114页 |
| ·性能测试结果 | 第114-119页 |
| ·刻度因子测试 | 第114-116页 |
| ·零偏稳定性测试 | 第116页 |
| ·温度特性测试 | 第116-117页 |
| ·噪声与随机误差测试 | 第117-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 第七章 结论与展望 | 第120-124页 |
| ·全文总结 | 第120-122页 |
| ·研究展望 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-136页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第136-137页 |
