| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第13-16页 |
| 1.1.1 集成电路 | 第13页 |
| 1.1.2 光学投影光刻 | 第13-15页 |
| 1.1.3 偏振像差 | 第15-16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 论文的研究目的与主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 偏振像差理论 | 第19-35页 |
| 2.1 矢量成像 | 第19-21页 |
| 2.2 偏振像差的表达 | 第21-25页 |
| 2.2.1 琼斯矩阵与琼斯光瞳 | 第22-23页 |
| 2.2.2 琼斯矩阵的分解与琼斯光瞳的分解 | 第23-25页 |
| 2.3 偏振像差评价方法 | 第25-29页 |
| 2.3.1 光瞳切趾与标量波前 | 第26-27页 |
| 2.3.2 二向衰减 | 第27-28页 |
| 2.3.3 延迟 | 第28-29页 |
| 2.4 薄膜理论 | 第29-34页 |
| 2.4.1 菲涅尔公式 | 第29-30页 |
| 2.4.2 单层介质膜的特性计算 | 第30-32页 |
| 2.4.3 多层介质膜的特性计算 | 第32-33页 |
| 2.4.4 光学薄膜的琼斯矩阵 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 引起偏振像差的因素分析 | 第35-45页 |
| 3.1 特定的偏振光学元件产生的偏振效应 | 第35-36页 |
| 3.1.1 偏振器 | 第35页 |
| 3.1.2 延迟器 | 第35-36页 |
| 3.1.3 退偏器 | 第36页 |
| 3.2 常见的光学元件产生的偏振效应 | 第36-43页 |
| 3.2.1 非垂直入射 | 第36-37页 |
| 3.2.2 透镜 | 第37-38页 |
| 3.2.3 全反射棱镜 | 第38-39页 |
| 3.2.4 光学介质膜 | 第39-41页 |
| 3.2.5 反射镜 | 第41-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 光学系统偏振像差的优化 | 第45-79页 |
| 4.1 NA1.35 投影光刻物镜的结构 | 第45-46页 |
| 4.2 NA1.35 投影光刻物镜琼斯光瞳与物理光瞳 | 第46-48页 |
| 4.2.1 琼斯光瞳获取 | 第46-47页 |
| 4.2.2 物理光瞳获取 | 第47-48页 |
| 4.3 常规膜系NA1.35 投影光刻物镜系统的偏振像差 | 第48-56页 |
| 4.3.1 常规膜系NA1.35 投影光刻物镜系统偏振像差因素分析 | 第48-53页 |
| 4.3.2 常规膜系NA1.35 投影光刻物镜系统偏振像差计算 | 第53-56页 |
| 4.4 光学系统偏振像差的优化 | 第56-71页 |
| 4.4.1 偏振像差的优化方法 | 第56页 |
| 4.4.2 多层膜系设计 | 第56-71页 |
| 4.5 优化膜系NA1.35 投影光刻物镜系统的偏振像差 | 第71-75页 |
| 4.6 光刻仿真 | 第75-77页 |
| 4.7 本章小结 | 第77-79页 |
| 第5章 结论与展望 | 第79-81页 |
| 5.1 工作总结 | 第79页 |
| 5.2 工作展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第87页 |
