| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 太赫兹波简介 | 第13-14页 |
| 1.2 亚波长结构基本概念及其应用 | 第14-15页 |
| 1.3 亚波长宽带太赫兹吸收器研究现状 | 第15-20页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第20-23页 |
| 第二章 亚波长结构电磁吸收理论及亚波长器件制备方法 | 第23-37页 |
| 2.1 材料色散模型 | 第23-24页 |
| 2.2 亚波长结构电磁吸收原理 | 第24-30页 |
| 2.2.1 等效介质理论 | 第24-27页 |
| 2.2.2 阻抗匹配理论 | 第27-28页 |
| 2.2.3 干涉叠加理论 | 第28-30页 |
| 2.3 仿真求解算法 | 第30-31页 |
| 2.3.1 有限积分法 | 第30-31页 |
| 2.3.2 有限元法 | 第31页 |
| 2.4 亚波长结构吸收器制备方法 | 第31-35页 |
| 2.4.1 传统光刻法 | 第31-34页 |
| 2.4.2 微接触印刷法 | 第34-35页 |
| 2.4.3 其它方法 | 第35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 超宽带太赫兹吸收器 | 第37-59页 |
| 3.1 仿真结构设计及优化 | 第37-46页 |
| 3.1.1 材料参数模型 | 第37-39页 |
| 3.1.2 结构设计及优化 | 第39-46页 |
| 3.2 实验制备 | 第46-49页 |
| 3.2.1 实验用具 | 第46页 |
| 3.2.2 衬底准备 | 第46-48页 |
| 3.2.3 结构制备 | 第48-49页 |
| 3.2.4 介质层制备 | 第49页 |
| 3.3 性能测试与分析 | 第49-56页 |
| 3.3.1 扫描电镜测试 | 第50页 |
| 3.3.2 THz吸收谱测试 | 第50-56页 |
| 3.4 大角度入射下器件吸收性能 | 第56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-59页 |
| 第四章 等效折射率连续分布的超宽带大角度THz吸收器 | 第59-71页 |
| 4.1 轮廓线性(Linear)变化的THz吸收器 | 第59-62页 |
| 4.2 轮廓抛物线型(Parabola)变化的THz吸收器 | 第62-63页 |
| 4.3 轮廓悬链线型(Catenary)变化的THz吸收器 | 第63-65页 |
| 4.4 轮廓多项式型(Polynomial)变化的THz吸收器 | 第65-70页 |
| 4.4.1 遗传算法(GA) | 第66页 |
| 4.4.2 大角度THz吸收器 | 第66-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 本论文的主要研究内容 | 第71-72页 |
| 5.2 本论文的主要创新点 | 第72页 |
| 5.3 后续工作展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 附录 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第85页 |
