| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第10-17页 |
| 1.3 本论文创新点及主要研究工作 | 第17-19页 |
| 第2章 微光学基本理论 | 第19-41页 |
| 2.1 微光学及其加工技术 | 第19-23页 |
| 2.1.1 光刻技术 | 第20-21页 |
| 2.1.2 LIGA技术 | 第21页 |
| 2.1.3 制作连续浮雕微结构器件 | 第21-23页 |
| 2.2 标量衍射理论 | 第23-31页 |
| 2.2.1 电磁理论基础 | 第23-25页 |
| 2.2.2 标量衍射模型 | 第25-28页 |
| 2.2.3 惠更斯-菲涅尔原理及基尔霍夫标量衍射理论 | 第28-29页 |
| 2.2.4 平面波角谱理论和瑞利-索末菲衍射公式 | 第29-31页 |
| 2.3 矢量衍射理论 | 第31-37页 |
| 2.3.1 严格耦合波理论(RCWA) | 第31-37页 |
| 2.4 等效介质理论 | 第37-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第3章 一维方向周期性结构柔性光学薄膜设计 | 第41-82页 |
| 3.1 一维方向周期性结构柔性可按压微阵列薄膜设计 | 第41-70页 |
| 3.1.1 一维方向柔性可按压矩形微阵列设计分析 | 第41-56页 |
| 3.1.2 一维方向柔性可按压锯齿形微阵列、梯形微阵列及锥形微阵列设计分析 | 第56-70页 |
| 3.2 一维方向周期性结构柔性可拉伸微阵列薄膜设计 | 第70-80页 |
| 3.2.1 一维方向周期性结构柔性可拉伸微阵列设计原理 | 第70-71页 |
| 3.2.2 一维方向周期性结构柔性可拉伸矩形微阵列设计分析 | 第71-75页 |
| 3.2.3 一维方向周期性结构柔性可拉伸亚波长矩形微阵列设计分析 | 第75-80页 |
| 3.3 本章小结 | 第80-82页 |
| 第4章 二维方向周期性结构柔性大面积光学薄膜设计 | 第82-91页 |
| 4.1 圆锥形衍射 | 第82-83页 |
| 4.2 二维方向周期性结构柔性矩形微柱阵列分析 | 第83-85页 |
| 4.3 二维方向周期性结构柔性大面积可按压可拉伸微柱阵列结构设计 | 第85-89页 |
| 4.4 本章小结 | 第89-91页 |
| 第5章 总结与展望 | 第91-94页 |
| 5.1 课题总结 | 第91-92页 |
| 5.2 展望 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-100页 |
| 致谢 | 第100页 |
