脉冲绿激光划切蓝宝石基片的机理及工艺规律研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 符号说明 | 第9-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-29页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第18-20页 |
| 1.2 激光划切技术的特点 | 第20页 |
| 1.3 激光划切过程 | 第20-21页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第21-27页 |
| 1.4.1 激光划切技术研究 | 第21-23页 |
| 1.4.2 烧蚀阈值研究 | 第23页 |
| 1.4.3 激光划切工艺参数研究 | 第23-27页 |
| 1.5 现有激光划切技术存在的问题 | 第27页 |
| 1.6 课题来源及主要研究内容 | 第27-28页 |
| 1.6.1 课题来源 | 第27-28页 |
| 1.6.2 主要研究内容 | 第28页 |
| 1.7 本章小结 | 第28-29页 |
| 第二章 实验材料与装置 | 第29-37页 |
| 2.1 蓝宝石的晶体结构及物理特性 | 第29-31页 |
| 2.1.1 晶体结构 | 第29页 |
| 2.1.2 物理性能参数 | 第29-31页 |
| 2.2 实验装置及检测仪器 | 第31-33页 |
| 2.2.1 实验装置 | 第31-32页 |
| 2.2.2 检测仪器 | 第32页 |
| 2.2.3 样品参数 | 第32-33页 |
| 2.2.4 样品处理 | 第33页 |
| 2.3 实验研究方法 | 第33-36页 |
| 2.3.1 单脉冲激光烧蚀实验参数选择 | 第33-35页 |
| 2.3.2 多脉冲激光烧蚀实验参数选择 | 第35页 |
| 2.3.3 单因素激光划切实验参数选择 | 第35-36页 |
| 2.3.4 RSM优化激光划切实验参数选择 | 第36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 脉冲绿激光烧蚀蓝宝石作用机理研究 | 第37-58页 |
| 3.1 激光与材料相互作用机理 | 第37-39页 |
| 3.2 脉冲绿激光烧蚀蓝宝石光热作用模型 | 第39-41页 |
| 3.2.1 温度模型 | 第39-40页 |
| 3.2.2 热应力模型 | 第40-41页 |
| 3.3 温度场和应力场分布 | 第41-42页 |
| 3.3.1 温度场分布 | 第41-42页 |
| 3.3.2 热应力场分布 | 第42页 |
| 3.4 烧蚀阈值的确定 | 第42-45页 |
| 3.4.1 理论分析 | 第42-43页 |
| 3.4.2 实验方法 | 第43-45页 |
| 3.4.3 烧蚀阈值对比 | 第45页 |
| 3.5 裂纹阈值确定 | 第45-46页 |
| 3.6 脉冲绿激光烧蚀蓝宝石去除率 | 第46-49页 |
| 3.6.1 单脉冲激光烧蚀 | 第46-48页 |
| 3.6.2 多脉冲激光烧蚀 | 第48-49页 |
| 3.7 脉冲绿激光烧蚀蓝宝石表面形貌 | 第49-56页 |
| 3.7.1 表面形貌特征 | 第50-53页 |
| 3.7.2 截面形貌特征 | 第53-56页 |
| 3.8 XRD分析 | 第56-57页 |
| 3.9 本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 脉冲绿激光划切蓝宝石基片的工艺规律研究 | 第58-70页 |
| 4.1 偏振性对划槽尺寸及质量的影响 | 第58-61页 |
| 4.2 焦点位置对划槽尺寸及质量的影响 | 第61-63页 |
| 4.3 脉冲激光能量对划槽尺寸及质量的影响 | 第63-64页 |
| 4.4 扫描速度对划槽尺寸及质量的影响 | 第64-67页 |
| 4.5 扫描次数对划槽尺寸及质量的影响 | 第67-69页 |
| 4.6 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 脉冲绿激光划切蓝宝石基片的工艺参数优化 | 第70-89页 |
| 5.1 优化方法的选取 | 第70-76页 |
| 5.1.1 实验目的 | 第70-71页 |
| 5.1.2 实验方法的选取 | 第71-74页 |
| 5.1.3 RSM基本概念 | 第74页 |
| 5.1.4 RSM过程及组成 | 第74-75页 |
| 5.1.5 二阶RSM设计的选取 | 第75-76页 |
| 5.2 实验设计矩阵 | 第76-77页 |
| 5.3 数学模型 | 第77-78页 |
| 5.4 模型有效性验证 | 第78-79页 |
| 5.5 工艺参数对槽深的影响 | 第79-82页 |
| 5.6 工艺参数对槽宽的影响 | 第82-83页 |
| 5.7 工艺参数优化 | 第83-88页 |
| 5.7.1 优化准则 | 第83-84页 |
| 5.7.2 多重响应优化 | 第84-87页 |
| 5.7.3 质量检测 | 第87-88页 |
| 5.8 本章小结 | 第88-89页 |
| 结论与展望 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-99页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第99-101页 |
| 致谢 | 第101页 |
