| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-12页 |
| 1.1 概述 | 第10页 |
| 1.2 论文研究背景 | 第10-11页 |
| 1.3 本文主要内容 | 第11-12页 |
| 第二章 刻蚀技术与飞秒激光加工技术 | 第12-18页 |
| 2.1 飞秒激光加工技术 | 第12-14页 |
| 2.1.1 飞秒激光加工技术简介 | 第12页 |
| 2.1.2 飞秒激光加工技术的优点 | 第12-14页 |
| 2.1.3 飞秒激光加工的发展前景 | 第14页 |
| 2.2 刻蚀技术简介 | 第14-18页 |
| 2.2.1 干法刻蚀 | 第14-16页 |
| 2.2.2 湿法刻蚀 | 第16-18页 |
| 第三章 离子束刻蚀结合飞秒激光加工微透镜阵列的研究 | 第18-32页 |
| 3.1 引言 | 第18-19页 |
| 3.2 离子束刻蚀原理 | 第19页 |
| 3.3 三维压电控制平台 | 第19-21页 |
| 3.3.1 三维压电台软件程序的设计 | 第19-20页 |
| 3.3.2 数字模拟转化卡 | 第20-21页 |
| 3.4 微凹透镜阵列的加工研究 | 第21-24页 |
| 3.4.1 实验原理 | 第21-22页 |
| 3.4.2 探索加工参数对刻蚀效果的影响 | 第22-23页 |
| 3.4.3 实验参数对石英微凹透镜尺寸的影响 | 第23-24页 |
| 3.5 石英微凹透镜阵列的制备和效果测试 | 第24-27页 |
| 3.6 多种材料的微凹透镜阵列制备 | 第27-30页 |
| 3.7 本章小结 | 第30-32页 |
| 第四章 湿法刻蚀结合飞秒激光制备蓝宝石窗口材料的研究 | 第32-46页 |
| 4.1 引言 | 第32-33页 |
| 4.2 蓝宝石应用的简介 | 第33-36页 |
| 4.3 蛾眼亚波长结构简介 | 第36-39页 |
| 4.4 蓝宝石表面交叉光栅减反射结构的研究 | 第39-45页 |
| 4.4.1 蓝宝石材料样品的制备 | 第39-44页 |
| 4.4.2 蓝宝石窗口材料性能测试 | 第44-45页 |
| 4.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 总结与展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 作者简介及科研情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |