| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 光学生物传感器的国内外研究进展 | 第8-12页 |
| 1.1.1 光学生物传感器的原理及分类 | 第9-10页 |
| 1.1.2 多孔硅光学生物传感器的发展 | 第10-12页 |
| 1.2 多孔硅光子晶体传感器的应用 | 第12-16页 |
| 1.2.1 一维PHC光子晶体应用 | 第12-14页 |
| 1.2.2 二维以及三维PHC光子晶体应用 | 第14-16页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 多孔硅折叠布喇格反射镜结构的理论模拟计算 | 第18-27页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 转移矩阵理论 | 第18-20页 |
| 2.3 理论分析 | 第20-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 多孔硅折叠布喇格反射镜结构的制备 | 第27-42页 |
| 3.1 引言 | 第27-29页 |
| 3.2 单晶硅透射性质的实验研究 | 第29-31页 |
| 3.2.1 实验原料 | 第29页 |
| 3.2.2 实验仪器 | 第29页 |
| 3.2.3 硅片清洗流程 | 第29-31页 |
| 3.3 多孔硅折叠微腔制备实验 | 第31-41页 |
| 3.3.1 实验原料 | 第31页 |
| 3.3.2 实验仪器 | 第31-32页 |
| 3.3.3 硅片清洗流程 | 第32-33页 |
| 3.3.4 电化学腐蚀制备PSi | 第33-35页 |
| 3.3.5 折叠PSMC空气缝隙理论模拟分析 | 第35-37页 |
| 3.3.6 实验结果 | 第37-40页 |
| 3.3.7 实验结论 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 多孔硅剥离式折叠布喇格反射镜组合的制备 | 第42-53页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 独立式布喇格反射镜叠层效应理论分析 | 第42-44页 |
| 4.3 实验原料及仪器 | 第44-45页 |
| 4.3.1 实验原料 | 第45页 |
| 4.3.2 实验仪器 | 第45页 |
| 4.4 多孔硅剥离式折叠微腔制备 | 第45-47页 |
| 4.4.1 多孔硅剥离过程 | 第45-47页 |
| 4.4.2 实验小结 | 第47页 |
| 4.5 缺陷层厚度对于微腔结构形成的影响的理论分析 | 第47-52页 |
| 4.5.1 理论计算 | 第47-51页 |
| 4.5.2 结论 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 总结 | 第53页 |
| 5.2 创新点 | 第53页 |
| 5.3 展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 研究生期间发表论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |