| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-31页 |
| 1.1 课题背景与研究目的及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 步进扫描光刻机与超精密双硅片台 | 第11-17页 |
| 1.3 国内外研究概况 | 第17-29页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第29-31页 |
| 2 双硅片台运动控制需求分析 | 第31-40页 |
| 2.1 前言 | 第31页 |
| 2.2 双硅片台系统的运动结构及控制对象 | 第31-36页 |
| 2.3 双硅片台运动控制需求分析 | 第36-37页 |
| 2.4 双硅片台运动控制硬件平台构架 | 第37-38页 |
| 2.5 小结 | 第38-40页 |
| 3 基于多处理器并行控制的硬件架构 | 第40-60页 |
| 3.1 前言 | 第40页 |
| 3.2 多处理器并行控制的硬件平台架构 | 第40-42页 |
| 3.3 基于多处理器并行控制的关键技术 | 第42-56页 |
| 3.4 基于多处理器并行控制的硬件架构实现 | 第56-59页 |
| 3.5 小结 | 第59-60页 |
| 4 高速运动控制卡设计与实现 | 第60-86页 |
| 4.1 前言 | 第60页 |
| 4.2 运动控制卡整体功能分析 | 第60-63页 |
| 4.3 VME总线从控制器设计 | 第63-74页 |
| 4.4 自定义运动总线设计 | 第74-79页 |
| 4.5 错误总线接口设计 | 第79-80页 |
| 4.6 串行光纤链路控制器设计 | 第80-85页 |
| 4.7 小结 | 第85-86页 |
| 5 精密信号采集卡和伺服驱动卡的设计与实现 | 第86-109页 |
| 5.1 前言 | 第86页 |
| 5.2 高速精密信号采集卡与高速精密伺服驱动卡功能 | 第86-90页 |
| 5.3 高速精密信号采集卡与高速精密伺服驱动卡接口设计 | 第90-105页 |
| 5.4 数据传输的信号完整性 | 第105-108页 |
| 5.5 小结 | 第108-109页 |
| 6 双硅片台运动控制硬件平台的实现 | 第109-115页 |
| 6.1 双硅片台运动控制硬件平台的实现 | 第109-115页 |
| 7 结论与展望 | 第115-118页 |
| 7.1 全文总结 | 第115-116页 |
| 7.2 研究展望 | 第116-118页 |
| 致谢 | 第118-120页 |
| 参考文献 | 第120-130页 |
| 附录 | 第130页 |