| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外对LPCVD设备和控制系统的研究 | 第11-14页 |
| 1.3 控制系统常用技术介绍 | 第14-17页 |
| 1.3.1 PLC技术 | 第14-15页 |
| 1.3.2 Lab VIEW软件 | 第15-16页 |
| 1.3.3 PID控制 | 第16-17页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 1.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 LPCVD设备原理与结构 | 第19-30页 |
| 2.1 LPCVD设备原理 | 第19-20页 |
| 2.2 LPCVD设备概况 | 第20-21页 |
| 2.3 LPCVD设备控制系统 | 第21-28页 |
| 2.3.1 LPCVD设备控制系统简介 | 第21-24页 |
| 2.3.2 温度控制模块 | 第24-28页 |
| 2.4 特气供给模块和真空系统模块 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 设计LPCVD设备控制系统的硬件部分 | 第30-47页 |
| 3.1 设计LPCVD设备控制系统的条件和方法简介 | 第30页 |
| 3.2 对LPCVD设备一些电路图的分析 | 第30-34页 |
| 3.2.1 温度接口电路图 | 第30-31页 |
| 3.2.2 舟形装片模块接线电路图和驱动电路图 | 第31-33页 |
| 3.2.3 远端固定8电磁阀电路图 | 第33页 |
| 3.2.4 带示意图面板的LED指示灯电路图 | 第33-34页 |
| 3.3 设备上的一些智能控制器 | 第34-35页 |
| 3.4 对控制系统输入输出信号的小结 | 第35-36页 |
| 3.5 PLC的一些常用功能 | 第36-37页 |
| 3.5.1 PLC输入输出模块 | 第36页 |
| 3.5.2 RS-485与现场总线 | 第36-37页 |
| 3.6 对温度控制的方法 | 第37-38页 |
| 3.7 对LPCVD设备控制系统的改进 | 第38-41页 |
| 3.8 绘制控制系统电路图 | 第41-45页 |
| 3.9 本章小结 | 第45-47页 |
| 等四章 设计PLC程序和微机上的工控软件 | 第47-57页 |
| 4.1 确定LPCVD设备的控制方式 | 第47-48页 |
| 4.2 设计LPCVD设备控制流程图 | 第48-52页 |
| 4.3 设计微机上的工控软件 | 第52-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 对LPCVD设备控制系统的检验与结论 | 第57-60页 |
| 5.1 对LPCVD设备控制系统的检验 | 第57-59页 |
| 5.2 结论 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 附录 | 第63-66页 |
| 在学期间取得的与学位论文相关的研究成果 | 第66-67页 |