| TABLE OF CONTENTS | 第6-8页 |
| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 三维形貌测量概述 | 第12-13页 |
| 1.1.1 接触式测量 | 第12-13页 |
| 1.1.2 非接触式测量 | 第13页 |
| 1.2 常用的光学三维形貌测量技术 | 第13-15页 |
| 1.2.1 莫尔轮廓法 | 第13-14页 |
| 1.2.2 三角法 | 第14页 |
| 1.2.3 投影栅线法 | 第14-15页 |
| 1.3 相位解调技术 | 第15-18页 |
| 1.3.1 傅立叶变换法 | 第15-17页 |
| 1.3.2 相移法 | 第17-18页 |
| 1.4 高反射表面下常规测量手段的弊端 | 第18-19页 |
| 1.5 相移干涉术 | 第19-23页 |
| 1.5.1 干涉相移术定步长相移算法 | 第20-21页 |
| 1.5.2 干涉相移术等步长相移算法 | 第21页 |
| 1.5.3 干涉相移术非定(非等)步长相移算法 | 第21-22页 |
| 1.5.4 定步长算法修正相移器误差 | 第22-23页 |
| 1.6 本章小结 | 第23-24页 |
| 第2章 测量光路设计和系统工作原理 | 第24-34页 |
| 2.1 迈克尔逊干涉仪 | 第24-25页 |
| 2.1.1 仪器结构和光路 | 第24-25页 |
| 2.1.2 原理及其应用 | 第25页 |
| 2.2 相移技术 | 第25-26页 |
| 2.2.1 步进电机 | 第26页 |
| 2.2.2 步进电机驱动器 | 第26页 |
| 2.3 基于倾斜玻璃板和步进电机的相移器原理 | 第26-29页 |
| 2.3.1 实验光路 | 第26-27页 |
| 2.3.2 传统的倾斜光学玻璃实现相移的原理 | 第27-28页 |
| 2.3.3 传统旋转法存在的问题 | 第28页 |
| 2.3.4 改进的相移量计算方法 | 第28-29页 |
| 2.3.5 本实验中相移旋转平台的各项数据计算 | 第29页 |
| 2.4 光路干涉显微机构 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-34页 |
| 第3章 图像数据处理方法研究 | 第34-42页 |
| 3.1 实验中的各种误差 | 第34页 |
| 3.2 干涉图像的去噪处理 | 第34-38页 |
| 3.2.1 空域法去噪声 | 第35-37页 |
| 3.2.2 频域法去噪声 | 第37-38页 |
| 3.3 相位解包裹 | 第38-39页 |
| 3.4 三维显示图 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 实验过程及数据 | 第42-54页 |
| 4.1 四步相移测量反射表面实验数据 | 第42-46页 |
| 4.1.1 四步相移测量凸面镜 | 第42-44页 |
| 4.1.2 四步相移测量不规则晶体反射平面 | 第44-46页 |
| 4.2 四步相移测量透明晶体实验数据 | 第46-47页 |
| 4.2.1 测平凸透镜实验数据 | 第47页 |
| 4.2.2 测平凹透镜实验数据 | 第47页 |
| 4.3 傅立叶变换法测量不规则高反射面 | 第47-49页 |
| 4.4 高精度测量不规则高反射表面 | 第49-51页 |
| 4.4.1 Linnik型干涉显微镜测量金属反射凸面镜 | 第50-51页 |
| 4.4.2 Linnik型干涉显微镜测量微小晶片 | 第51页 |
| 4.5 系统标定 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 反射表面三维形貌测量仪 | 第54-60页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 光路采集子系统 | 第54-56页 |
| 5.2.1 相机参数 | 第54-55页 |
| 5.2.2 光路优化设计 | 第55-56页 |
| 5.3 旋转平台子系统 | 第56-58页 |
| 5.4 数据处理子系统 | 第58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第6章 结论和展望 | 第60-62页 |
| 6.1 主要工作介绍 | 第60页 |
| 6.2 主要创新点 | 第60-61页 |
| 6.3 今后展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第67页 |