| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.1.1 硅微陀螺仪的特点 | 第10-11页 |
| 1.1.2 硅微陀螺仪的应用 | 第11页 |
| 1.2 硅微机械陀螺仪国内外研究概况 | 第11-14页 |
| 1.2.1 硅微陀螺仪国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 硅微陀螺仪国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 常压封装硅微陀螺仪研究概况 | 第14-15页 |
| 1.4 课题研究目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.5 课题来源和研究内容 | 第16-18页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 硅微机械陀螺仪的工作原理和相关参数 | 第18-28页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 哥氏加速度 | 第18-19页 |
| 2.3 硅微机械陀螺仪工作原理 | 第19-26页 |
| 2.3.1 硅微陀螺仪动力学模型 | 第19-20页 |
| 2.3.2 硅微陀螺仪运动分析 | 第20-22页 |
| 2.3.3 机械灵敏度及带宽 | 第22-23页 |
| 2.3.4 品质因数(Q值) | 第23-24页 |
| 2.3.5 空气阻尼 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 常压封装硅微陀螺仪的驱动电路分析 | 第28-38页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 硅微陀螺仪基本驱动电路分析 | 第28-30页 |
| 3.2.1 开环驱动和闭环驱动 | 第28页 |
| 3.2.2 锁相环闭环驱动 | 第28-29页 |
| 3.2.3 自激振荡闭环驱动 | 第29-30页 |
| 3.3 常压封装陀螺仪自激驱动电路 | 第30-36页 |
| 3.3.1 自激驱动的起振条件 | 第30-31页 |
| 3.3.2 自激驱动的跟踪能力 | 第31-32页 |
| 3.3.3 自激驱动的电路设计与分析 | 第32-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 常压封装硅微陀螺仪的检测电路分析 | 第38-60页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 常压封装陀螺仪开环检测电路 | 第38-46页 |
| 4.2.1 硅微陀螺仪基本检测电路 | 第38页 |
| 4.2.2 常压封装陀螺开环检测基本原理及公式推导 | 第38-40页 |
| 4.2.3 常压封装陀螺开环检测性能分析 | 第40-46页 |
| 4.2.4 常压封装陀螺仪性能小结 | 第46页 |
| 4.3 相位随温度变化的相位补偿电路设计 | 第46-57页 |
| 4.3.1 温度对常压封装陀螺仪最优解调相角的影响 | 第46-50页 |
| 4.3.2 相位补偿电路的设计 | 第50-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-60页 |
| 第五章 检测电路低功耗解调方案的分析与设计 | 第60-68页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 集成芯片解调方案 | 第60页 |
| 5.3 开关解调方案 | 第60-63页 |
| 5.3.1 开关解调工作原理 | 第60-62页 |
| 5.3.2 开关解调对干扰信号的抑制 | 第62-63页 |
| 5.4 同步积分解调方案 | 第63-67页 |
| 5.4.1 同步积分电路工作原理 | 第63-65页 |
| 5.4.2 同步积分电路解调原理 | 第65-66页 |
| 5.4.3 同步积分解调对干扰信号的抑制 | 第66-67页 |
| 5.4.4 开关解调和同步积分解调对比 | 第67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 实验 | 第68-78页 |
| 6.1 引言 | 第68页 |
| 6.2 测试样机及实验设备 | 第68-69页 |
| 6.3 相位补偿方案实验 | 第69-74页 |
| 6.3.1 实验验证温度对相移的影响 | 第69-71页 |
| 6.3.2 标度因数性能测试 | 第71-72页 |
| 6.3.3 零偏输出测试 | 第72-74页 |
| 6.3.4 全温相关性能测试 | 第74页 |
| 6.4 解调方案实验 | 第74-76页 |
| 6.4.1 标度因数相关性能测试 | 第74-75页 |
| 6.4.2 零偏相关性能测试 | 第75-76页 |
| 6.4.3 陀螺仪功耗测试 | 第76页 |
| 6.5 本章小结 | 第76-78页 |
| 第七章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 7.1 全文总结 | 第78页 |
| 7.2 未来展望 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第86页 |