基于MEMS技术微悬臂梁敏感结构的设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 微悬臂梁传感器研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 研究目的及意义 | 第15页 |
| 1.4 本文主要内容安排 | 第15-16页 |
| 第2章 微悬臂梁传感器工作原理 | 第16-26页 |
| 2.1 微梁传感器工作模式 | 第16-17页 |
| 2.1.1 静态模式 | 第16页 |
| 2.1.2 动态模式 | 第16-17页 |
| 2.2 微梁传感器驱动方式 | 第17-19页 |
| 2.2.1 驱动方式对比 | 第17-18页 |
| 2.2.2 压电效应 | 第18-19页 |
| 2.3 微梁传感器信号检测方式 | 第19-22页 |
| 2.3.1 信号检测方式对比 | 第19页 |
| 2.3.2 压阻效应 | 第19-22页 |
| 2.4 多层结构微梁检测原理 | 第22-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 微悬臂梁敏感结构设计与优化 | 第26-49页 |
| 3.1 微悬臂梁敏感结构设计 | 第26-27页 |
| 3.2 微悬臂梁敏感结构优化 | 第27-43页 |
| 3.2.1 驱动层结构优化 | 第27-33页 |
| 3.2.2 弹性层结构优化 | 第33-37页 |
| 3.2.3 检测层结构优化 | 第37-43页 |
| 3.3 微梁传感器性能研究 | 第43-48页 |
| 3.3.1 输出特性和灵敏度 | 第43-44页 |
| 3.3.2 过载分析 | 第44-46页 |
| 3.3.3 模态分析 | 第46-47页 |
| 3.3.4 响应分析 | 第47-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 微悬臂梁传感器制备工艺 | 第49-62页 |
| 4.1 微梁制备工艺流程 | 第49-53页 |
| 4.2 微梁功能层关键工艺技术 | 第53-58页 |
| 4.2.1 SOI技术 | 第53-54页 |
| 4.2.2 多晶硅纳米膜 | 第54-55页 |
| 4.2.3 PZT厚膜 | 第55-58页 |
| 4.3 微梁版图设计 | 第58-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 在学研究成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
