基于MEMS的电磁激励谐振传感器研究
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第16-39页 |
| 1.1 引言 | 第16页 |
| 1.2 激振结构——螺旋电感国内外研究现状 | 第16-24页 |
| 1.2.1 螺旋电感国外研究现状 | 第16-20页 |
| 1.2.2 螺旋电感国内研究现状 | 第20-24页 |
| 1.3 拾振结构——压力传感器国内外研究现状 | 第24-33页 |
| 1.3.1 压力传感器国外研究现状 | 第25-29页 |
| 1.3.2 压力传感器国内研究现状 | 第29-33页 |
| 1.4 谐振传感器国内外研究现状 | 第33-37页 |
| 1.4.1 谐振传感器国外研究现状 | 第33-34页 |
| 1.4.2 谐振传感器国内研究现状 | 第34-37页 |
| 1.5 研究的目的和意义 | 第37-38页 |
| 1.5.1 研究的目的 | 第37页 |
| 1.5.2 研究的意义 | 第37-38页 |
| 1.6 本文研究的主要内容 | 第38页 |
| 1.7 本章小结 | 第38-39页 |
| 第2章 电磁激励谐振传感器理论模型与理论分析 | 第39-59页 |
| 2.1 电磁激励谐振传感器结构模型 | 第39-40页 |
| 2.2 电磁激励谐振传感器工作原理 | 第40-41页 |
| 2.3 螺旋电感线圈工作原理 | 第41-50页 |
| 2.3.1 螺旋电感线圈的理论模型 | 第41-42页 |
| 2.3.2 螺旋电感线圈理论公式 | 第42-46页 |
| 2.3.3 螺旋电感线圈Q值理论公式 | 第46-50页 |
| 2.4 纳米硅薄膜晶体管压力传感器工作原理 | 第50-57页 |
| 2.4.1 压阻效应 | 第50-52页 |
| 2.4.2 纳米硅薄膜晶体管压力传感器的物理模型 | 第52-55页 |
| 2.4.3 纳米硅薄膜晶体管压力传感器的工作原理 | 第55-57页 |
| 2.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第3章 电磁激励谐振传感器仿真模型构建与特性 | 第59-80页 |
| 3.1 电磁激励谐振传感器仿真模型构建 | 第59-60页 |
| 3.2 电磁激励谐振传感器特性仿真 | 第60-78页 |
| 3.2.1 激振结构特性仿真 | 第60-66页 |
| 3.2.2 拾振结构特性仿真 | 第66-69页 |
| 3.2.3 电磁激励谐振传感器仿真分析 | 第69-78页 |
| 3.3 本章小结 | 第78-80页 |
| 第4章 电磁激励谐振传感器芯片设计、制作和封装 | 第80-115页 |
| 4.1 电磁激励谐振传感器芯片设计 | 第80-109页 |
| 4.1.1 激振结构设计 | 第81-97页 |
| 4.1.2 拾振结构设计 | 第97-109页 |
| 4.2 电磁激励谐振传感器制作工艺 | 第109-113页 |
| 4.2.1 纳米硅薄膜晶体管压力传感器制作工艺 | 第110-112页 |
| 4.2.2 电感线圈制作工艺 | 第112-113页 |
| 4.3 电磁激励谐振传感器样品及封装 | 第113-114页 |
| 4.4 本章小结 | 第114-115页 |
| 第5章 基于GMR传感器的弱磁场检测系统设计 | 第115-128页 |
| 5.1 弱磁场检测系统结构 | 第115页 |
| 5.2 弱磁场检测装置设计、仿真与理论分析 | 第115-120页 |
| 5.2.1 地磁场屏蔽装置设计与仿真 | 第116页 |
| 5.2.2 弱磁场测量传感器理论分析 | 第116-119页 |
| 5.2.3 弱磁场产生装置设计 | 第119-120页 |
| 5.3 检测电路的设计、仿真与制作 | 第120-123页 |
| 5.3.1 检测电路的设计 | 第120-121页 |
| 5.3.2 检测电路的仿真 | 第121-122页 |
| 5.3.3 检测电路的制作 | 第122-123页 |
| 5.4 弱磁场检测系统标定 | 第123-125页 |
| 5.5 实验结果 | 第125-127页 |
| 5.6 本章小结 | 第127-128页 |
| 第6章 电磁激励谐振传感器实验结果与讨论 | 第128-165页 |
| 6.1 电磁激励谐振传感器激振结构特性 | 第128-136页 |
| 6.1.1 电感线圈磁场响应特性 | 第128-133页 |
| 6.1.2 电感线圈磁场输出特性 | 第133-135页 |
| 6.1.3 电感线圈电感值和Q值测量 | 第135-136页 |
| 6.2 电磁激励谐振传感器拾振结构特性 | 第136-146页 |
| 6.2.1 纳米硅薄膜晶体管压力传感器结构 | 第136-137页 |
| 6.2.2 纳米硅薄膜晶体管压力传感器静态特性 | 第137-146页 |
| 6.3 电磁激励谐振传感器特性 | 第146-164页 |
| 6.3.1 电磁激励谐振传感器压敏特性 | 第146-155页 |
| 6.3.2 电磁激励谐振传感器特性 | 第155-164页 |
| 6.4 本章小结 | 第164-165页 |
| 结论 | 第165-166页 |
| 主要创新点 | 第166-167页 |
| 参考文献 | 第167-181页 |
| 致谢 | 第181-182页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文 | 第182-183页 |
