摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
第1章 绪论 | 第8-17页 |
1.1 课题研究的背景及意义 | 第8-9页 |
1.2 国内外研究现状 | 第9-16页 |
1.2.1 可植入式眼压传感器的研究现状 | 第9-14页 |
1.2.2 柔性压力传感器的研究现状 | 第14-15页 |
1.2.3 现有研究存在的问题 | 第15-16页 |
1.3 本文研究的主要内容及安排 | 第16-17页 |
第2章 可植入式柔性眼压传感器和测控系统的方案及分析 | 第17-21页 |
2.1 可植入式柔性眼压传感器的研究方案及分析 | 第17-19页 |
2.2 眼压传感器测控系统的研究方案及分析 | 第19-20页 |
2.3 本章小结 | 第20-21页 |
第3章 可植入式柔性眼压传感器的设计及工艺研究 | 第21-36页 |
3.1 概述 | 第21页 |
3.2 压力传感器的分类 | 第21-24页 |
3.2.1 电阻式压力传感器 | 第22-23页 |
3.2.2 电容式压力传感器 | 第23-24页 |
3.2.3 压电式压力传感器 | 第24页 |
3.3 传感器工作原理及结构设计 | 第24-26页 |
3.4 传感器材料选择及工艺制作 | 第26-35页 |
3.4.1 金字塔微结构式传感器的工艺研究 | 第27-32页 |
3.4.2 碳纳米管微纳结构式传感器的工艺研究 | 第32-35页 |
3.5 本章小结 | 第35-36页 |
第4章 眼压传感器测控系统的研究 | 第36-49页 |
4.1 概述 | 第36-37页 |
4.2 压力加载部分设计及制作 | 第37-39页 |
4.3 电容检测 | 第39-47页 |
4.3.1 电容检测电路 | 第39-46页 |
4.3.2 阻抗测量仪器 | 第46-47页 |
4.4 传感器测控系统的调试 | 第47-48页 |
4.5 本章小结 | 第48-49页 |
第5章 眼压传感器的表征及性能测试的研究 | 第49-58页 |
5.1 概述 | 第49页 |
5.2 微纳接触结构的表面形貌表征 | 第49-51页 |
5.3 传感器性能测试 | 第51-55页 |
5.3.1 金字塔微结构式传感器的性能测试 | 第51-52页 |
5.3.2 碳纳米管微纳结构式传感器的性能测试 | 第52-55页 |
5.4 结果与分析 | 第55-57页 |
5.5 本章小结 | 第57-58页 |
第6章 结论及展望 | 第58-60页 |
6.1 研究课题结论 | 第58-59页 |
6.2 展望 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-64页 |
发表论文和参加科研情况说明 | 第64-65页 |
致谢 | 第65-66页 |