| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-31页 |
| 1.1 课题研究目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 多孔氧化铝湿度传感器研究现状 | 第11-29页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第16-29页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器基本结构与工作原理 | 第31-37页 |
| 2.1 硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器基本结构 | 第31-32页 |
| 2.2 硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器工作原理 | 第32-36页 |
| 2.2.1 感湿机理 | 第32-35页 |
| 2.2.2 吸附-解吸附机理 | 第35-36页 |
| 2.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器特性仿真 | 第37-53页 |
| 3.1 仿真软件与仿真理论 | 第37-38页 |
| 3.2 平行板电极湿度传感器特性仿真 | 第38-46页 |
| 3.2.1 平行板电极湿度传感器仿真模型构建 | 第38-39页 |
| 3.2.2 平行板电极湿度传感器感湿特性仿真 | 第39-41页 |
| 3.2.3 孔隙率对湿度传感器感湿特性的影响 | 第41-45页 |
| 3.2.4 氧化铝孔深对湿度传感器感湿特性的影响 | 第45页 |
| 3.2.5 氧化铝孔径对湿度传感器感湿特性的影响 | 第45-46页 |
| 3.3 叉指式电极湿度传感器特性仿真 | 第46-52页 |
| 3.3.1 叉指式电极湿度传感器仿真模型构建 | 第46-47页 |
| 3.3.2 叉指式电极湿度传感器感湿特性仿真 | 第47-49页 |
| 3.3.3 叉指电极对数对湿度传感器感湿特性的影响 | 第49-51页 |
| 3.3.4 电极厚度对湿度传感器感湿特性的影响 | 第51-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器传感器制作 | 第53-67页 |
| 4.1 纳米多孔氧化铝薄膜制备系统搭建 | 第53-54页 |
| 4.2 铝基纳米多孔氧化铝薄膜制备及表征研究 | 第54-58页 |
| 4.2.1 铝基纳米多孔氧化铝薄膜制备 | 第54-55页 |
| 4.2.2 氧化电压对薄膜微结构的影响 | 第55-56页 |
| 4.2.3 草酸溶液浓度对薄膜微结构的影响 | 第56-57页 |
| 4.2.4 氧化时间对薄膜微结构的影响 | 第57-58页 |
| 4.3 硅基纳米多孔氧化铝薄膜制备及表征研究 | 第58-63页 |
| 4.3.1 硅基纳米多孔氧化铝薄膜制备 | 第58-60页 |
| 4.3.2 硅衬底对薄膜微结构的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.3 氧化电压对薄膜微结构的影响 | 第61-62页 |
| 4.3.4 草酸溶液浓度对薄膜微结构的影响 | 第62-63页 |
| 4.3.5 氧化时间对薄膜微结构的影响 | 第63页 |
| 4.4 湿度传感器芯片设计、制作 | 第63-66页 |
| 4.4.1 传感器芯片的设计 | 第63-64页 |
| 4.4.2 传感器芯片的制作 | 第64-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 实验结果与讨论 | 第67-81页 |
| 5.1 湿度传感器测试系统搭建 | 第67-69页 |
| 5.2 硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器特性的影响因素 | 第69-72页 |
| 5.2.1 不同氧化条件对湿度传感器特性的影响 | 第69-70页 |
| 5.2.2 电极对湿度传感器特性的影响 | 第70-71页 |
| 5.2.3 频率对湿度传感器特性的影响 | 第71-72页 |
| 5.3 硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器特性测试 | 第72-78页 |
| 5.3.1 感湿特性 | 第72-73页 |
| 5.3.2 湿滞特性 | 第73-74页 |
| 5.3.3 响应-恢复时间 | 第74-76页 |
| 5.3.4 重复性 | 第76页 |
| 5.3.5 长期稳定性 | 第76-78页 |
| 5.4 外加磁场对硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器特性的影响 | 第78-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 结论 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 攻读学位期间承担科研项目 | 第90页 |
