| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-23页 |
| 1.1 课题研究背景及研究意义 | 第7-8页 |
| 1.2 湿度传感器的研究现状及发展趋势 | 第8-18页 |
| 1.2.1 湿度传感器的研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.2 湿度传感器衬底的研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.3 纳米硅孔柱研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.4 湿度传感器的发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.3 SnO_2纳米材料简介 | 第18-21页 |
| 1.3.1 SnO_2纳米材料及结构特征 | 第19-20页 |
| 1.3.2 SnO_2敏感层的研究现状及发展趋势 | 第20-21页 |
| 1.4 论文研究的主要内容 | 第21-22页 |
| 1.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第2章 Si-NPA的制备及表征 | 第23-31页 |
| 2.1 Si-NPA形成机理 | 第23页 |
| 2.2 Si-NPA的制备过程 | 第23-26页 |
| 2.2.1 主要试剂和仪器 | 第23-24页 |
| 2.2.2 Si-NPA的制备过程 | 第24-26页 |
| 2.3 Si-NPA的形貌表征 | 第26-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 Sn O_2/Si-NPA的制备及表征 | 第31-43页 |
| 3.1 溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜 | 第31-36页 |
| 3.1.1 主要试剂和仪器 | 第31-33页 |
| 3.1.2 SnO_2溶胶的制备 | 第33页 |
| 3.1.3 薄膜的旋涂 | 第33-34页 |
| 3.1.4 高温退火 | 第34-35页 |
| 3.1.5 溶胶-凝胶法制备样品表征及XRD分析 | 第35-36页 |
| 3.2 阳极氧化法制备SnO_2薄膜 | 第36-40页 |
| 3.2.1 主要试剂和仪器 | 第36-37页 |
| 3.2.2 电子束蒸发法制备Sn薄膜 | 第37-38页 |
| 3.2.3 阳极氧化法制备SnO_2 | 第38-39页 |
| 3.2.4 阳极氧化法制备样品表征及XRD分析 | 第39-40页 |
| 3.3 敏感元件的制备 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 SnO_2/Si-NPA元件的湿敏特性测试与分析 | 第43-56页 |
| 4.1 湿度传感器原理 | 第43-44页 |
| 4.2 湿敏测试装置搭建 | 第44-45页 |
| 4.3 SnO_2/Si-NPA元件的湿敏特性测试与分析 | 第45-55页 |
| 4.3.1 电容特性响应曲线 | 第45-47页 |
| 4.3.2 灵敏度测试 | 第47-50页 |
| 4.3.3 响应时间测试 | 第50-52页 |
| 4.3.4 重复性测试 | 第52-53页 |
| 4.3.5 湿滞测试 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63页 |