| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·BST 材料的特性 | 第8-11页 |
| ·常规BST 薄膜制备技术 | 第11-13页 |
| ·BST 薄膜研究进展 | 第13-18页 |
| ·工艺改进 | 第13-14页 |
| ·掺杂改性 | 第14-17页 |
| ·结构优化 | 第17-18页 |
| ·选题与工作内容 | 第18-20页 |
| 第二章 Sol-gel 法BST 薄膜 | 第20-28页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·Sol-gel 工艺原理 | 第20-21页 |
| ·Sol-gel 法制备工艺 | 第21-25页 |
| ·工艺流程 | 第21-22页 |
| ·工艺实施 | 第22-25页 |
| ·Sol-gel 法工艺改进 | 第25-28页 |
| ·实验工艺 | 第25页 |
| ·性能研究 | 第25-28页 |
| 第三章 BST 薄膜的性能优化研究 | 第28-57页 |
| ·实验工艺及测试条件 | 第28-29页 |
| ·Y 掺杂BST 薄膜 | 第29-40页 |
| ·Y 掺杂Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3 薄膜 | 第30-34页 |
| ·化学计量比对Y 掺杂BST 薄膜的影响 | 第34-40页 |
| ·化学计量比对Mn 掺杂BST 薄膜的影响 | 第40-46页 |
| ·表面形貌分析 | 第41-42页 |
| ·结晶取向分析 | 第42-43页 |
| ·介电性能研究 | 第43-46页 |
| ·化学计量比对Y、Mn 复合掺杂BST 薄膜的影响 | 第46-50页 |
| ·表面形貌分析 | 第47-48页 |
| ·结晶取向分析 | 第48-49页 |
| ·介电性能研究 | 第49-50页 |
| ·梯度掺杂对BST 薄膜的影响 | 第50-55页 |
| ·表面形貌分析 | 第51-53页 |
| ·介电性能研究 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 主要结论及进一步工作建议 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第66-67页 |