碳纳米管谐振器动力学建模与仿真研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 碳纳米管与NEMS谐振器简介 | 第13-24页 |
| ·碳纳米管的力电性质 | 第13-15页 |
| ·NEMS谐振器特性 | 第15-23页 |
| ·主要性能参数与特点 | 第16-17页 |
| ·NEMS谐振器典型结构 | 第17-20页 |
| ·NEMS谐振器振动力学模型 | 第20-21页 |
| ·谐振器的激励与检测 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 碳纳米管谐振器相关理论研究 | 第24-33页 |
| ·碳纳米管梁受力分析 | 第24-28页 |
| ·失效电压分析 | 第28-29页 |
| ·碳纳米管振动分析 | 第29-30页 |
| ·检测原理分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 碳纳米管谐振器ANSYS建模仿真分析 | 第33-67页 |
| ·NEMS建模方法 | 第33-34页 |
| ·有限元方法和ANSYS简介 | 第34-37页 |
| ·有限元方法 | 第34-35页 |
| ·ANSYS软件介绍 | 第35-36页 |
| ·ANSYS多物理场耦合分析 | 第36-37页 |
| ·失效电压仿真分析 | 第37-50页 |
| ·多场求解器—MFS单代码耦合分析 | 第37-41页 |
| ·降阶模型法 | 第41-45页 |
| ·ROM144求解法 | 第45-50页 |
| ·谐振动态特性仿真 | 第50-65页 |
| ·模态分析 | 第50-57页 |
| ·谐响应分析 | 第57-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 碳纳米管谐振器的制造技术研究 | 第67-75页 |
| ·碳纳米管的制备技术 | 第67-69页 |
| ·NEMS制造技术 | 第69-70页 |
| ·碳纳米管谐振器制造工艺流程 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第六章 结论与展望 | 第75-78页 |
| ·本论文的主要研究结论 | 第75-77页 |
| ·对进一步工作的展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第83页 |
