| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 MEMS热式风速传感器研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS热式风速传感器原理概述 | 第11-16页 |
| 1.2.1 常见热风速计的控制模式 | 第12-14页 |
| 1.2.2 热式风速传感器的检测模式 | 第14-16页 |
| 1.3 MEMS热式风速传感器的研究状态 | 第16-22页 |
| 1.3.1 国外经典MEMS热式风速传感器及温漂问题的研究进展 | 第17-19页 |
| 1.3.2 国内MEMS热式风速传感器的研究进展 | 第19-22页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第22-23页 |
| 1.4.1 目前研究中存在的问题 | 第22-23页 |
| 1.4.2 本课题任务 | 第23页 |
| 1.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 二维MEMS硅热式风速传感器的结构设计与封装 | 第24-36页 |
| 2.1 二维风速风向传感器的基本工作原理分析 | 第24-26页 |
| 2.2 二维热风速传感器的控制与检测系统 | 第26-30页 |
| 2.2.1 传感器恒温差控制系统 | 第26-27页 |
| 2.2.2 传感器风速风向检测系统 | 第27-30页 |
| 2.3 硅基热式风传感器的芯片结构 | 第30-33页 |
| 2.3.1 芯片整体结构介绍 | 第30-31页 |
| 2.3.2 芯片制造方法 | 第31-33页 |
| 2.4 硅热热式风速风向传感器的封装 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 二维热式风速传感器的性能测试分析 | 第36-50页 |
| 3.1 热风速传感器芯片的一致性测试与分析 | 第36-38页 |
| 3.2 热风速传感器的性能测试 | 第38-41页 |
| 3.2.1 传感器测试系统简介 | 第38-39页 |
| 3.2.2 热温差模式下的信号输出 | 第39-40页 |
| 3.2.3 热温差模式下的重复测试 | 第40-41页 |
| 3.3 传感器系统优化设计方案 | 第41-44页 |
| 3.3.1 传感器优化方案整体设计 | 第41-42页 |
| 3.3.2 系统标定测试方案 | 第42-43页 |
| 3.3.3 软件算法的优化实现 | 第43-44页 |
| 3.4 传感器系统测试对比分析 | 第44-49页 |
| 3.4.1 传感器精度测试 | 第44-46页 |
| 3.4.2 传感器重复性测试 | 第46-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 温漂补偿系统对传感器的改进与测试分析 | 第50-62页 |
| 4.1 传感器温漂性能的影响 | 第50-53页 |
| 4.1.1 温漂特性的理论分析 | 第50-51页 |
| 4.1.2 温漂特性对系统输出的实际测试 | 第51-53页 |
| 4.2 系统函数优化校正温漂 | 第53-56页 |
| 4.2.1 电压输出信号的温度函数关系 | 第53-55页 |
| 4.2.2 温漂补偿输出结果 | 第55-56页 |
| 4.3 硬件电路优化的自动温漂补偿 | 第56-60页 |
| 4.3.1 单电桥控制电路的调整 | 第56-57页 |
| 4.3.2 双电桥控制补偿电路 | 第57-58页 |
| 4.3.3 电路补偿后的结果测试 | 第58-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 工作总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 作者简介 | 第70页 |