| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 图像探测器的发展及基本特点 | 第9-12页 |
| 1.2 图像传感器的国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 本论文的主要研究工作 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-19页 |
| 第二章 垂直电荷成像器件(VPS)的基本结构和工作原理及其微光探测的可行性 | 第19-37页 |
| 2.1 VPS的基本概念、结构和光电探测原理 | 第19-23页 |
| 2.1.1 VPS的基本概念 | 第19-20页 |
| 2.1.2 浮栅MOSFET工作的基本原理 | 第20-22页 |
| 2.1.3 VPS光电探测基本原理 | 第22-23页 |
| 2.2 VPS的FN隧穿光电探测模式 | 第23-27页 |
| 2.2.1 FN隧穿的基本原理 | 第23-25页 |
| 2.2.2 VPS的FN隧穿光电探测模式的工作过程 | 第25-27页 |
| 2.3 VPS的衬底热电子光电探测模式 | 第27-30页 |
| 2.3.1 衬底热电子注入的基本原理 | 第27-28页 |
| 2.3.2 VPS衬底热电子注入光电探测模式工作过程 | 第28-30页 |
| 2.4 VPS的微光探测的可行性 | 第30-34页 |
| 2.4.1 VPS的微光探测的基本出发点 | 第30-31页 |
| 2.4.2 VPS用于微光探测的原理延伸——雪崩光电探测模式 | 第31-34页 |
| 2.5 小结 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-37页 |
| 第三章 垂直电荷成像器件(VPS)的实验结果和分析 | 第37-55页 |
| 3.1 实验仪器、样品和实验方法 | 第37-39页 |
| 3.2 实验结果和分析 | 第39-53页 |
| 3.2.1 VPS的FN隧穿光电探测模式实验结果和相关仿真分析 | 第39-44页 |
| 3.2.2 VPS的衬底热电子注入光电探测模式实验结果和分析 | 第44-48页 |
| 3.2.3 VPS的单电子灵敏度的实验结果和分析 | 第48-50页 |
| 3.2.4 VPS的雪崩工作模式的实验结果和分析 | 第50-53页 |
| 3.3 小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第四章 VPS高速探测工作电路 | 第55-61页 |
| 4.1 VPS高速探测工作电路及探测方法 | 第55-58页 |
| 4.2 实验结果和分析 | 第58-59页 |
| 4.3 小结 | 第59-61页 |
| 第五章 VPS的新单元结构的探索 | 第61-65页 |
| 5.1 分裂栅方案 | 第61-62页 |
| 5.2 双晶体管结构方案 | 第62-63页 |
| 5.3 小结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 硕士期间成果 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
