大范围二维纳米检测系统的设计研究

中文摘要	第3-4页
ABSTRACT	第4页
第一章 综述	第6-19页
1.1 纳米技术的发展概况	第6-8页
1.2 光学纳米测量技术	第8-17页
1.3 本课题的主要研究内容和意义	第17-19页
第二章 激光干涉系统的设计	第19-31页
2.1 干涉光路的设计	第19-24页
2.2 高精度导轨的设计	第24-28页
2.3 隔振系统的研究	第28-31页
第三章 纳米驱动马达的研究	第31-38页
3.1 压电马达运动原理	第31-32页
3.2 压电马达控制系统硬件设计	第32-35页
3.3 压电马达控制系统软件设计	第35-38页
第四章 干涉信号的处理	第38-48页
4.1 信号处理电路	第38-39页
4.2 信号三差的分析与补偿	第39-45页
4.3 位移计算	第45-48页
第五章 仪器误差的理论分析与系统实验	第48-61页
5.1 仪器误差的理论分析	第48-53页
5.2 电容测微仪分辨率的估算	第53页
5.3 实验结果	第53-59页
5.4 数据处理及结果分析	第59-61页
全文总结与课题展望	第61-62页
参考文献	第62-65页
发表论文和参加科研情况说明	第65-66页
致谢	第66页