| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 相变存储器概述 | 第10-12页 |
| 1.3 相变材料的热传导特性 | 第12-14页 |
| 1.4 本文研究的意义与内容 | 第14-16页 |
| 2 薄膜热导率的研究方法 | 第16-23页 |
| 2.1 薄膜材料热输运的研究与发展 | 第16-18页 |
| 2.2 薄膜材料热导率的测试方法 | 第18-19页 |
| 2.3 3ω法测试薄膜热导率的原理 | 第19-21页 |
| 2.4 热导率的第一性原理计算方法 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 3ω法测试GeTe/Bi_2Te_3超晶格相变薄膜热导率 | 第23-41页 |
| 3.1 3ω法热导率测试系统的搭建 | 第23-25页 |
| 3.2 GeTe/Bi_2Te_3超晶格样品的设计和封装 | 第25-28页 |
| 3.3 SiO_2薄膜热导率的测试 | 第28-32页 |
| 3.4 GeTe/Bi_2Te_3超晶格相变薄膜热导率的测试 | 第32-37页 |
| 3.5 GeTe/Bi_2Te_3超晶格材料的热导率特性 | 第37-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-41页 |
| 4 GeTe/Bi_2Te_3超晶格相变薄膜材料热导率的第一性原理计算 | 第41-56页 |
| 4.1 超晶格材料的结构模型 | 第41-46页 |
| 4.2 超晶格声子色散曲线的计算与分析 | 第46-49页 |
| 4.3 超晶格声子态密度及分波态密度的计算与分析 | 第49-51页 |
| 4.4 超晶格热导率的计算与分析 | 第51-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-59页 |
| 5.1 全文总结 | 第56-58页 |
| 5.2 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
