基于光干涉法的超精密车削表面微结构在位检测技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 表面微结构形貌测量的研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 非光学测量方法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 光学测量方法 | 第12-14页 |
| 1.3 图像拼接技术及研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.1 图像配准技术研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 图像融合技术研究现状 | 第16页 |
| 1.4 表面微结构在位检测技术研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5 课题研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 超精密车床光学在位检测系统的研制 | 第19-29页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 光学在位检测系统的方案设计 | 第19-20页 |
| 2.3 光学在位检测系统的硬件设计 | 第20-27页 |
| 2.3.1 光学系统的总体结构 | 第20-21页 |
| 2.3.2 干涉显微镜 | 第21-23页 |
| 2.3.3 微位移机构 | 第23-25页 |
| 2.3.4 光学成像系统 | 第25页 |
| 2.3.5 白光光源 | 第25-26页 |
| 2.3.6 图像采集装置 | 第26-27页 |
| 2.4 光学在位检测系统的软件设计 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 微结构表面三维形貌的光学干涉测量与重构 | 第29-42页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 光学干涉特性 | 第29-31页 |
| 3.3 微结构三维形貌测量原理 | 第31-32页 |
| 3.4 垂直扫描白光干涉条纹峰值提取算法 | 第32-38页 |
| 3.4.1 极值法 | 第32-33页 |
| 3.4.2 重心法 | 第33页 |
| 3.4.3 包络曲线拟合法 | 第33-35页 |
| 3.4.4 白光相移法 | 第35-38页 |
| 3.5 表面微结构三维形貌重构 | 第38-41页 |
| 3.5.1 显微干涉图像的预处理 | 第38-40页 |
| 3.5.2 微结构三维形貌的重构 | 第40-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 微结构表面三维形貌拼接方法研究 | 第42-59页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 待拼接微结构形貌的获取及拼接误差分析 | 第42-44页 |
| 4.2.1 待拼接微结构形貌的获取 | 第42-43页 |
| 4.2.2 单次拼接中的误差分析 | 第43-44页 |
| 4.3 微结构形貌图像的面内配准 | 第44-53页 |
| 4.3.1 基于图像特征的配准 | 第45页 |
| 4.3.2 相位相关法 | 第45-48页 |
| 4.3.3 基于区域灰度的配准 | 第48-49页 |
| 4.3.4 本文的配准方法 | 第49-53页 |
| 4.4 微结构形貌图像的面外偏差修正 | 第53-55页 |
| 4.5 重合区域的融合 | 第55-58页 |
| 4.5.1 图像融合方法 | 第56-57页 |
| 4.5.2 图像融合及质量评价 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 在位检测系统精度测试与集成实验研究 | 第59-70页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 在位检测系统的性能与精度评价 | 第59-61页 |
| 5.3 图像像素的标定 | 第61-63页 |
| 5.4 在位检测系统与机床集成 | 第63-64页 |
| 5.5 在位测量及拼接测试 | 第64-69页 |
| 5.5.1 单口径微结构形貌在位重构评价 | 第64-66页 |
| 5.5.2 表面微结构在位拼接测试 | 第66-69页 |
| 5.6 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
