| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.2 论文选题背景 | 第11-12页 |
| 1.3 各种柔性衬底材料特性的对比分析 | 第12-15页 |
| 1.3.1 塑料衬底的特性 | 第12-13页 |
| 1.3.2 不锈钢衬底的特性 | 第13页 |
| 1.3.3 超薄玻璃衬底 | 第13-14页 |
| 1.3.4 纸质衬底 | 第14页 |
| 1.3.5 生物复合薄膜衬底 | 第14-15页 |
| 1.4 不锈钢性质的研究 | 第15-16页 |
| 1.4.1 304不锈钢概述 | 第15页 |
| 1.4.2 304不锈钢的理化性能 | 第15-16页 |
| 1.5 化学机械抛光技术 | 第16-17页 |
| 1.5.1 化学机械抛光概述 | 第16-17页 |
| 1.5.2 化学机械抛光技术的关键环节及存在问题 | 第17页 |
| 1.6 固结磨料化学机械抛光和游离磨料化学机械抛光的对比分析 | 第17-20页 |
| 2 实验条件和研究方法 | 第20-27页 |
| 2.1 不锈钢片CMP实验条件 | 第20-21页 |
| 2.2 检测仪器及设备 | 第21-23页 |
| 2.3 研究方案 | 第23-26页 |
| 2.4 加工性能的评判指标 | 第26-27页 |
| 3 Roll-to-Roll固结磨料化学机械抛光工艺研究 | 第27-29页 |
| 3.1 Roll-to-Roll技术 | 第27页 |
| 3.2 不锈钢片固结磨料抛光辊制备的工艺流程 | 第27-29页 |
| 4 固结磨料化学机械抛光辊研制 | 第29-37页 |
| 4.1 抛光辊结构设计 | 第29页 |
| 4.2 固结磨料化学机械抛光辊外层成分研究 | 第29-34页 |
| 4.2.1 油性树脂 | 第31-32页 |
| 4.2.2 水性树脂 | 第32页 |
| 4.2.3 聚氨酯粉末 | 第32-34页 |
| 4.3 光固化参数的选择 | 第34-37页 |
| 4.3.1 光固化距离 | 第34-35页 |
| 4.3.2 光固化时间 | 第35-36页 |
| 4.3.3 固化厚度 | 第36-37页 |
| 5 固结磨料化学机械抛光辊光固化机研制 | 第37-53页 |
| 5.1 UV光固化机简介 | 第37页 |
| 5.1.1 原理 | 第37页 |
| 5.1.2 特点 | 第37页 |
| 5.1.3 类型 | 第37页 |
| 5.1.4 应用前景 | 第37页 |
| 5.2 光固化机方案研究 | 第37-39页 |
| 5.2.1 设计方案的初步拟定 | 第37-39页 |
| 5.3 光固化机总体结构的研究 | 第39页 |
| 5.4 光固化机主要部件及零件设计 | 第39-53页 |
| 5.4.1 升降方案的分析与确定 | 第39-42页 |
| 5.4.2 线性模组的分析与选型 | 第42-48页 |
| 5.4.3 电机的选定 | 第48-51页 |
| 5.4.5 旋转工作台的选定 | 第51-52页 |
| 5.4.6 UV灯箱支撑架的设计与校核 | 第52-53页 |
| 6 结论与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 总结 | 第53-54页 |
| 6.2 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 个人简历 | 第59页 |